ਆਧੁਨਿਕ LPCVD ਫਰਨੇਸ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਲਈ SiC ਕੈਂਟੀਲੀਵਰ ਪੈਡਲ ਕਿਉਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ?

ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਛੋਟੇ ਡਿਵਾਈਸ ਜਿਓਮੈਟਰੀ, ਉੱਚ ਵੇਫਰ ਥਰੂਪੁੱਟ, ਅਤੇ ਵਧਦੇ ਸਖ਼ਤ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਣ ਨਿਯੰਤਰਣ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਵੱਲ ਵਿਕਸਤ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਥਰਮਲ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਉਪਕਰਣ ਬੇਮਿਸਾਲ ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਚੁਣੌਤੀਆਂ ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰ ਰਹੇ ਹਨ। LPCVD, ਥਰਮਲ ਆਕਸੀਕਰਨ, ਡੋਪੈਂਟ ਪ੍ਰਸਾਰ, ਅਤੇ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਐਨੀਲਿੰਗ ਵਰਗੀਆਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਹੁਣ ਨਾ ਸਿਰਫ਼ ਸਖ਼ਤ ਤਾਪਮਾਨ ਇਕਸਾਰਤਾ ਦੀ ਮੰਗ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ, ਸਗੋਂ ਲੰਬੇ ਉਪਕਰਣ ਅਪਟਾਈਮ, ਘੱਟ ਕਣ ਉਤਪਾਦਨ, ਅਤੇ ਬਿਹਤਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੁਹਰਾਉਣਯੋਗਤਾ ਦੀ ਵੀ ਮੰਗ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ।

ਹਾਲਾਂਕਿ ਅਕਸਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਗੈਸਾਂ, ਫਰਨੇਸ ਟਿਊਬਾਂ, ਜਾਂ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ ਕੈਮਿਸਟਰੀ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ ਨਜ਼ਰਅੰਦਾਜ਼ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਕੈਂਟੀਲੀਵਰ ਪੈਡਲ ਬੁਨਿਆਦੀ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇਹ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦਾ ਹੈ ਕਿ ਵੇਫਰ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦੇ ਅੰਦਰ ਕਿਵੇਂ ਵਿਵਹਾਰ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ ਉੱਨਤ ਫੈਬਰਾਂ ਵਿੱਚ, ਇਸਨੂੰ ਹੁਣ ਇੱਕ ਸਧਾਰਨ ਖਪਤਯੋਗ ਭਾਗ ਨਹੀਂ ਮੰਨਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਸਗੋਂ ਸਥਿਰ ਅਤੇ ਦੁਹਰਾਉਣ ਯੋਗ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਲਈ ਇੱਕ ਮੁੱਖ ਸਮਰੱਥ ਸਮੱਗਰੀ ਮੰਨਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

SiC ਕੈਂਟੀਲੀਵਰ ਪੈਡਲ ਕੀ ਹੈ?

ਇੱਕ SiC ਕੈਂਟੀਲੀਵਰ ਪੈਡਲ ਇੱਕ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲਾ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਢਾਂਚਾਗਤ ਹਿੱਸਾ ਹੈ ਜੋ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਡਿਫਿਊਜ਼ਨ ਫਰਨੇਸਾਂ ਅਤੇ LPCVD ਸਿਸਟਮਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਇਸਨੂੰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇੱਕ ਲੰਬੇ ਕੈਂਟੀਲੀਵਰ ਬੀਮ ਢਾਂਚੇ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਜੋ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਜਾਂ SiC ਵੇਫਰ ਬੋਟਾਂ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਨ ਦੇ ਸਮਰੱਥ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।

ਇਹ ਭਾਗ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇਹਨਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇ ਬਣਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ:

● ਰੀਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਜ਼ਡ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (RSiC)

● ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (CVD SiC)

● ਉੱਚ-ਘਣਤਾ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ-ਬੰਧਿਤ SiC ਸਮੱਗਰੀ

ਕੂਰਸਟੇਕ ਅਤੇ ਸੇਂਟ-ਗੋਬੇਨ ਪਰਫਾਰਮੈਂਸ ਸਿਰੇਮਿਕਸ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ਿਤ ਸਮੱਗਰੀ ਡੇਟਾ ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ, ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ SiC ਸਮੱਗਰੀ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਿਤ ਹੁੰਦੇ ਹਨ:

● ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ: ਕਮਰੇ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਲਗਭਗ 120–200 W/m·K

● ਅਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਵਿੱਚ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਓਪਰੇਟਿੰਗ ਤਾਪਮਾਨ: 1600°C ਤੋਂ ਉੱਪਰ।

● ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ (CTE) ਦਾ ਗੁਣਾਂਕ: ਲਗਭਗ 4.0–4.5×10⁻⁶/K।

● HCl, NH₃, O₂, ਅਤੇ ਕਲੋਰੀਨੇਟਿਡ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਰਸਾਇਣ ਵਿਗਿਆਨ ਪ੍ਰਤੀ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ।

LPCVD ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਵਿੱਚ SiC ਕੈਂਟੀਲੀਵਰ ਪੈਡਲ ਦੀ ਭੂਮਿਕਾ

ਸਾਰੀਆਂ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਵਿੱਚੋਂ, LPCVD ਸਿਸਟਮ SiC ਕੈਂਟੀਲੀਵਰ ਪੈਡਲਾਂ ਲਈ ਸਭ ਤੋਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਵਰਤੋਂ ਦੇ ਮਾਮਲਿਆਂ ਵਿੱਚੋਂ ਇੱਕ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦੇ ਹਨ।

ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਜਿਵੇਂ ਕਿ:

● ਪੋਲੀਸਿਲਿਕਨ ਜਮ੍ਹਾ ਹੋਣਾ।

● ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਈਟ੍ਰਾਈਡ (Si₃N₄)।

● ਘੱਟ-ਦਬਾਅ ਵਾਲਾ ਆਕਸਾਈਡ ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੋਣਾ।

ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 500°C ਅਤੇ 900°C ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਕੰਮ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਅਕਸਰ ਲੰਬੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਚੱਕਰਾਂ ਅਤੇ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਰਸਾਇਣਕ ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਦੇ ਅਧੀਨ।

ਇਹਨਾਂ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਦੇ ਅੰਦਰ, ਕੈਂਟੀਲੀਵਰ ਪੈਡਲ ਇੱਕੋ ਸਮੇਂ ਕਈ ਜ਼ਰੂਰੀ ਕਾਰਜ ਕਰਦਾ ਹੈ।

ਪਹਿਲਾਂ, ਇਹ ਫਰਨੇਸ ਟਿਊਬ ਵਿੱਚ ਦਾਖਲ ਹੋਣ ਅਤੇ ਬਾਹਰ ਨਿਕਲਣ ਵਾਲੀਆਂ ਵੇਫਰ ਕਿਸ਼ਤੀਆਂ ਲਈ ਸਥਿਰ ਮਕੈਨੀਕਲ ਟ੍ਰਾਂਸਪੋਰਟ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਕਿਉਂਕਿ ਆਧੁਨਿਕ ਲੰਬਕਾਰੀ ਭੱਠੀਆਂ ਪ੍ਰਤੀ ਬੈਚ ਸੈਂਕੜੇ ਵੇਫਰ ਲੈ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ, ਇਸ ਲਈ ਥੋੜ੍ਹੀ ਜਿਹੀ ਪੈਡਲ ਵਿਗਾੜ ਵੀ ਵੇਫਰ ਦੀ ਗਲਤ ਅਲਾਈਨਮੈਂਟ, ਅਸਥਿਰ ਸਪੇਸਿੰਗ, ਜਾਂ ਮਕੈਨੀਕਲ ਤਣਾਅ ਇਕੱਠਾ ਕਰਨ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣ ਸਕਦੀ ਹੈ।

ਦੂਜਾ, ਪੈਡਲ ਥਰਮਲ ਇਕਸਾਰਤਾ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਉਂਦਾ ਹੈ। SiC ਦੀ ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਗਰਮੀ ਨੂੰ ਸਹਾਇਤਾ ਢਾਂਚੇ ਦੇ ਨਾਲ ਵਧੇਰੇ ਸਮਾਨ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਵੰਡਣ ਦੀ ਆਗਿਆ ਦਿੰਦੀ ਹੈ, ਸਥਾਨਕ ਥਰਮਲ ਗਰੇਡੀਐਂਟ ਨੂੰ ਘੱਟ ਤੋਂ ਘੱਟ ਕਰਦੀ ਹੈ ਜੋ ਜਮ੍ਹਾ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਤ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ।

ਤੀਜਾ, ਘੱਟ ਕਣ ਪੈਦਾ ਕਰਨਾ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ। ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਕਣ ਸਿੱਧੇ ਉਪਜ ਦੇ ਕਾਤਲ ਹਨ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਉੱਨਤ ਤਰਕ ਅਤੇ ਸ਼ਕਤੀ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਤਪਾਦਨ ਵਿੱਚ। ਇਸਦੀ ਸੰਘਣੀ ਸਿਰੇਮਿਕ ਬਣਤਰ ਅਤੇ ਮਜ਼ਬੂਤ ​​ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਦੇ ਕਾਰਨ, ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲਾ SiC ਰਵਾਇਤੀ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ ਕਣਾਂ ਦੇ ਸ਼ੈਡਿੰਗ ਦੇ ਜੋਖਮ ਨੂੰ ਕਾਫ਼ੀ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ।

ਉੱਨਤ LPCVD ਉਤਪਾਦਨ ਲਾਈਨਾਂ ਵਿੱਚ, ਪੈਡਲ ਦੀ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੀ ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦੀ ਹੈ:

● ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਇਕਸਾਰਤਾ।

● ਵੇਫਰ-ਟੂ-ਵੇਫਰ ਦੁਹਰਾਉਣਯੋਗਤਾ।

● ਭੱਠੀ ਦਾ ਚਾਲੂ ਸਮਾਂ।

ਨਿੰਗਬੋ ਵੀਈਟੀ ਐਨਰਜੀ ਐਡਵਾਂਸਡ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਿਰੇਮਿਕਸ, ਅਤੇ ਸੀਵੀਡੀ-ਕੋਟੇਡ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ ਵਿੱਚ ਮਾਹਰ ਹੈ ਜੋ ਮੰਗ ਵਾਲੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਾਤਾਵਰਣ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਗਏ ਹਨ।

ਕੋਰ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਤਪਾਦਾਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:

● SiC ਕੈਂਟੀਲੀਵਰ ਪੈਡਲ

● SiC ਕੋਟੇਡ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਸੁਸਸੈਪਟਰ

● SiC ਕੋਟੇਡ ਵੇਫਰ ਕੈਰੀਅਰ

● SiC ਕੋਟੇਡ ਹਾਫਮੂਨ ਕੰਪੋਨੈਂਟ

● ਕਾਰਬਨ-ਕਾਰਬਨ ਕੰਪੋਜ਼ਿਟ ਕਰੂਸੀਬਲ

● ਨਰਮ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਫੈਲਟ ਅਤੇ ਸਖ਼ਤ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਫੈਲਟ

ਇਹ ਉਤਪਾਦ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇਹਨਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ:

● ਐਪੀਟੈਕਸੀ ਸਿਸਟਮ

● LPCVD ਰਿਐਕਟਰ

● ਡਿਫਿਊਜ਼ਨ ਭੱਠੀਆਂ

● SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਾਧੇ ਦੇ ਸਿਸਟਮ

● ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਥਰਮਲ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਉਪਕਰਣ।

SiC ਅਤੇ ਉੱਨਤ ਪਾਵਰ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਦੇ ਤੇਜ਼ ਵਾਧੇ ਦੇ ਨਾਲ, ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ, ਉੱਚ-ਸਥਿਰਤਾ ਭੱਠੀ ਦੇ ਹਿੱਸਿਆਂ ਦੀ ਮੰਗ ਵਧਦੀ ਰਹੇਗੀ। ਇਸ ਸੰਦਰਭ ਵਿੱਚ, SiC ਕੈਂਟੀਲੀਵਰ ਪੈਡਲ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਅਗਲੀ ਪੀੜ੍ਹੀ ਦੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਬੁਨਿਆਦੀ ਤੱਤਾਂ ਵਿੱਚੋਂ ਇੱਕ ਰਹੇਗੀ।