Susceptor de barril revestido de SiC personalizado

Susceptor de barrilÉ um componente essencial em processos de crescimento epitaxial de semicondutores, como MOCVD, MBE e CVD. É usado principalmente para transportar wafers em câmaras de reação de alta temperatura e fornecer um ambiente de campo térmico uniforme e estável para garantir a deposição precisa de camadas epitaxiais (como GaN, SiC, etc.). Sua principal função é atingir alta uniformidade da temperatura da superfície do wafer por meio do controle preciso do campo térmico, garantindo assim a espessura, a concentração de dopagem e a uniformidade da estrutura cristalina de filmes finos epitaxiais.

Utilizamos nossa tecnologia patenteada para fazer osusceptor de barrilcom pureza extremamente alta, boa uniformidade de revestimento e excelente vida útil, além de alta resistência química e propriedades de estabilidade térmica.

A VET Energy usa grafite de alta pureza com revestimento CVD-SiC para melhorar a estabilidade química:

1. Material de grafite de alta pureza
Alta condutividade térmica: a condutividade térmica do grafite é três vezes maior que a do silício, o que pode transferir rapidamente o calor da fonte de aquecimento para o wafer e reduzir o tempo de aquecimento.
Resistência mecânica: Densidade de grafite de pressão isostática ≥ 1,85 g/cm³, capaz de suportar altas temperaturas acima de 1200 ℃ sem deformação.

2. Revestimento CVD SiC
Uma camada de β - SiC é formada na superfície do grafite por deposição química de vapor (CVD), com uma pureza de ≥ 99,99995%, o erro de uniformidade da espessura do revestimento é menor que ± 5% e a rugosidade da superfície é menor que Ra0,5um.

3. Melhoria de desempenho:
Resistência à corrosão: pode suportar gases altamente corrosivos, como Cl2, HCl, etc., pode estender a vida útil da epitaxia de GaN em três vezes no ambiente NH3.
Estabilidade térmica: O coeficiente de expansão térmica (4,5 × 10-6/℃) corresponde ao grafite para evitar rachaduras no revestimento causadas por flutuações de temperatura.
Dureza e resistência ao desgaste: a dureza Vickers atinge 28 GPa, o que é 10 vezes maior que o grafite e pode reduzir o risco de arranhões no wafer.