Susceptor de cano revestido com SiC personalizado

susceptor de canoÉ um componente essencial em processos de crescimento epitaxial de semicondutores, como MOCVD, MBE e CVD. Sua principal função é transportar wafers em câmaras de reação de alta temperatura e fornecer um ambiente de campo térmico uniforme e estável para garantir a deposição precisa de camadas epitaxiais (como GaN, SiC, etc.). Sua função principal é alcançar alta uniformidade da temperatura da superfície do wafer por meio do controle preciso do campo térmico, garantindo assim a uniformidade da espessura, da concentração de dopagem e da estrutura cristalina dos filmes finos epitaxiais.

Utilizamos nossa tecnologia patenteada para fabricar osupressor de canoCom pureza extremamente alta, boa uniformidade de revestimento e excelente vida útil, além de alta resistência química e estabilidade térmica.

A VET Energy utiliza grafite de alta pureza com revestimento de CVD-SiC para aumentar a estabilidade química:

1. Material de grafite de alta pureza
Alta condutividade térmica: a condutividade térmica do grafite é três vezes maior que a do silício, o que permite uma rápida transferência de calor da fonte de aquecimento para o wafer, reduzindo o tempo de aquecimento.
Resistência mecânica: Densidade do grafite sob pressão isostática ≥ 1,85 g/cm³, capaz de suportar altas temperaturas acima de 1200 ℃ sem deformação.

2. Revestimento de SiC por CVD
Uma camada de β-SiC é formada na superfície do grafite por deposição química de vapor (CVD), com pureza ≥ 99,99995%, erro de uniformidade da espessura do revestimento inferior a ±5% e rugosidade da superfície inferior a Ra0,5um.

3. Melhoria de desempenho:
Resistência à corrosão: suporta gases altamente corrosivos como Cl2, HCl, etc., podendo triplicar a vida útil da epitaxia de GaN em ambientes com NH3.
Estabilidade térmica: O coeficiente de expansão térmica (4,5 × 10-6/℃) é compatível com o do grafite para evitar rachaduras no revestimento causadas por flutuações de temperatura.
Dureza e resistência ao desgaste: A dureza Vickers atinge 28 GPa, o que é 10 vezes maior que a do grafite e pode reduzir o risco de arranhões no wafer.