SiC ආලේපන ග්‍රැෆයිට් MOCVD වේෆර් වාහක ධාරක

කෙටි විස්තරය:

එපිටැක්සියල් වර්ධනය සඳහා VET බලශක්ති SiC ආලේපිත MOCVD සුසෙප්ටරය යනු දීර්ඝ කාලයක් පුරා ස්ථාවර සහ විශ්වාසදායක කාර්ය සාධනයක් සැපයීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත නිෂ්පාදනයකි. එයට සුපිරි හොඳ තාප ප්‍රතිරෝධයක් සහ තාප ඒකාකාරිත්වය, ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ඛාදන ප්‍රතිරෝධය ඇති අතර, එය වේෆර් සැකසුම් යෙදුම් සඳහා පරිපූර්ණ විසඳුම බවට පත් කරයි.

අපට විද්‍යුත් තැපෑල එවන්න PDF ලෙස බාගන්න

නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

SiC ආලේපන මිනිරන් MOCVD වේෆර් වාහක/සස්පෙක්ටරය

අපගේ සියලුම සසෙප්ටර් අධි ශක්ති සමස්ථානික මිනිරන් වලින් සාදා ඇත. අපගේ මිනිරන් වල ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් ප්‍රයෝජන ගන්න - එපිටැක්සි, ස්ඵටික වර්ධනය, අයන බද්ධ කිරීම සහ ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීම වැනි අභියෝගාත්මක ක්‍රියාවලීන් සඳහා මෙන්ම LED චිප් නිෂ්පාදනය සඳහා විශේෂයෙන් සංවර්ධනය කර ඇත.

අපගේ නිෂ්පාදනවල විශේෂාංග:

1. 1700℃ දක්වා ඉහළ උෂ්ණත්ව ඔක්සිකරණ ප්‍රතිරෝධය.
2. ඉහළ සංශුද්ධතාවය සහ තාප ඒකාකාරිත්වය
3. විශිෂ්ට විඛාදන ප්‍රතිරෝධය: අම්ලය, ක්ෂාර, ලුණු සහ කාබනික ප්‍රතික්‍රියාකාරක.
4. ඉහළ දෘඪතාව, සංයුක්ත මතුපිට, සියුම් අංශු.
5. දිගු සේවා කාලය සහ කල් පවතින බව

සීවීඩී SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC හි මූලික භෞතික ගුණාංගආලේපනය
性质 / දේපළ	典型数值 / සාමාන්‍ය අගය
晶体结构 / ස්ඵටික ව්‍යුහය	FCC β අවධිය多晶,主要为（111）取向
密度 / ඝනත්වය	3.21 g/cm³
硬度 / දෘඪතාව	2500 维氏硬度 (ග්රෑම් 500 බර)
晶粒大小 / ධාන්‍ය SiZe	2~10μm
纯度 / රසායනික සංශුද්ධතාවය	99.99995%
热容 / තාප ධාරිතාව	640 ජූ·කි.ග්‍රෑ.^-1·කේ^-1
升华温度 / ඌර්ධවීකරණ උෂ්ණත්වය	2700℃ උෂ්ණත්වය
抗弯强度 / නම්‍යශීලී ශක්තිය	415 MPa RT 4-ලක්ෂ්‍යය
杨氏模量 / යංගේ මොඩියුලස්	430 Gpa 4pt වංගුව, 1300℃
导热系数 / තාපජයඑල්සන්නායකතාවය	300W·මී^-1·කේ^-1
热膨胀系数 / තාප ප්‍රසාරණය (CTE)	4.5 × 10^-6K^-1

VET Energy යනු SiC ආලේපනය, TaC ආලේපනය, වීදුරු කාබන් ආලේපනය, පයිරොලිටික් කාබන් ආලේපනය යනාදී විවිධ ආලේපන සහිත අභිරුචිකරණය කළ මිනිරන් සහ සිලිකන් කාබයිඩ් නිෂ්පාදනවල සැබෑ නිෂ්පාදකයා වන අතර අර්ධ සන්නායක සහ ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්ත සඳහා විවිධ අභිරුචිකරණය කළ කොටස් සැපයිය හැකිය.

අපගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායම ඉහළම දේශීය පර්යේෂණ ආයතනවලින් පැමිණෙන අතර, ඔබට වඩාත් වෘත්තීය ද්‍රව්‍යමය විසඳුම් ලබා දිය හැකිය.

අපි වඩාත් දියුණු ද්‍රව්‍ය සැපයීම සඳහා අඛණ්ඩව දියුණු ක්‍රියාවලීන් සංවර්ධනය කරන අතර, ආලේපනය සහ උපස්ථරය අතර බන්ධනය වඩාත් තද කර වෙන්වීමට ඇති ඉඩකඩ අඩු කළ හැකි සුවිශේෂී පේටන්ට් බලපත්‍රලාභී තාක්ෂණයක් සකස් කර ඇත්තෙමු.

අපගේ කර්මාන්ත ශාලාව නැරඹීමට ඔබව සාදරයෙන් පිළිගනිමු, අපි තවදුරටත් සාකච්ඡා කරමු!