SiC ආලේපන ග්‍රැෆයිට් MOCVD වේෆර් වාහක ධාරක

කෙටි විස්තරය:

එපිටැක්සියල් වර්ධනය සඳහා VET බලශක්ති SiC ආලේපිත MOCVD සුසෙප්ටරය යනු දීර්ඝ කාලයක් පුරා ස්ථාවර සහ විශ්වාසදායක කාර්ය සාධනයක් සැපයීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත නිෂ්පාදනයකි. එයට සුපිරි හොඳ තාප ප්‍රතිරෝධයක් සහ තාප ඒකාකාරිත්වය, ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ඛාදන ප්‍රතිරෝධය ඇති අතර, එය වේෆර් සැකසුම් යෙදුම් සඳහා පරිපූර්ණ විසඳුම බවට පත් කරයි.