VET Energys 8-tums kiselskivor används ofta inom kraftelektronik, sensorer, integrerade kretsar och andra områden. Som ledande inom halvledarindustrin är vi engagerade i att tillhandahålla högkvalitativa kiselskivor för att möta våra kunders växande behov.
Förutom Si-skivor tillhandahåller VET Energy även ett brett utbud av halvledarsubstratmaterial, inklusive SiC-substrat, SOI-skivor, SiN-substrat, Epi-skivor etc. Vår produktlinje omfattar även nya halvledarmaterial med brett bandgap, såsom galliumoxid Ga2O3 och AlN-skivor, vilket ger starkt stöd för utvecklingen av nästa generations kraftelektroniska komponenter.
VET Energy har avancerad produktionsutrustning och ett komplett kvalitetsledningssystem för att säkerställa att varje wafer uppfyller strikta branschstandarder. Våra produkter har inte bara utmärkta elektriska egenskaper, utan även god mekanisk hållfasthet och termisk stabilitet.
VET Energy erbjuder kunder skräddarsydda waferlösningar, inklusive wafers i olika storlekar, typer och dopningskoncentrationer. Dessutom erbjuder vi professionell teknisk support och eftermarknadsservice för att hjälpa kunder att lösa olika problem som uppstår under produktionsprocessen.
SPECIFIKATIONER FÖR WAFERANLÄGGNING
*n-Pm=n-typ Pm-kvalitet,n-Ps=n-typ Ps-kvalitet,Sl=Halvisolerande
| Punkt | 8-tums | 6-tums | 4-tums | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| Båge(GF3YFCD) - Absolut värde | ≤15 μm | ≤15 μm | ≤25 μm | ≤15 μm | |
| Varpning (GF3YFER) | ≤25 μm | ≤25 μm | ≤40 μm | ≤25 μm | |
| LTV (SBIR) - 10 mm x 10 mm | <2 μm | ||||
| Waferkant | Avfasning | ||||
YTBEHANDLING
*n-Pm=n-typ Pm-kvalitet,n-Ps=n-typ Ps-kvalitet,Sl=Halvisolerande
| Punkt | 8-tums | 6-tums | 4-tums | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| Ytbehandling | Dubbelsidig optisk polering, Si-Face CMP | ||||
| Ytjämnhet | (10µm x 10µm) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-yta Ra≤0,2nm | |||
| Kantchips | Inget tillåtet (längd och bredd ≥0,5 mm) | ||||
| Indrag | Inget tillåtet | ||||
| Repor (Si-Face) | Antal ≤5, Kumulativt | Antal ≤5, Kumulativt | Antal ≤5, Kumulativt | ||
| Sprickor | Inget tillåtet | ||||
| Kantuslutning | 3 mm | ||||





