VET Energy의 8인치 실리콘 웨이퍼는 전력 전자, 센서, 집적 회로 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다. 반도체 산업의 선두주자로서, 당사는 고객의 증가하는 요구를 충족하기 위해 고품질 Si 웨이퍼 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.
VET Energy는 Si 웨이퍼 외에도 SiC 기판, SOI 웨이퍼, SiN 기판, Epi 웨이퍼 등 광범위한 반도체 기판 소재를 제공합니다. 당사의 제품 라인은 또한 산화갈륨(Ga2O3) 및 AlN 웨이퍼와 같은 새로운 와이드 밴드갭 반도체 소재를 포괄하여 차세대 전력 전자 소자 개발에 강력한 지원을 제공합니다.
VET 에너지는 첨단 생산 장비와 완벽한 품질 관리 시스템을 갖추고 있어 각 웨이퍼가 엄격한 산업 표준을 충족하도록 보장합니다. 당사 제품은 우수한 전기적 특성뿐만 아니라 우수한 기계적 강도와 열 안정성을 갖추고 있습니다.
VET 에너지는 다양한 크기, 종류, 도핑 농도의 웨이퍼를 포함한 맞춤형 웨이퍼 솔루션을 고객에게 제공합니다. 또한, 고객이 생산 과정에서 발생하는 다양한 문제를 해결할 수 있도록 전문적인 기술 지원 및 애프터서비스를 제공합니다.
웨이퍼링 사양
*n-Pm=n형 Pm등급,n-Ps=n형 Ps등급,Sl=반절연
| 목 | 8인치 | 6인치 | 4인치 | ||
| 엔피 | n-오후 | n-Ps | SI | SI | |
| TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| Bow(GF3YFCD)-절대값 | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
| 워프(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
| LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
| 웨이퍼 엣지 | 베벨링 | ||||
표면 마감
*n-Pm=n형 Pm등급,n-Ps=n형 Ps등급,Sl=반절연
| 목 | 8인치 | 6인치 | 4인치 | ||
| 엔피 | n-오후 | n-Ps | SI | SI | |
| 표면 마감 | 양면 광학 연마, Si-Face CMP | ||||
| 표면 거칠기 | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
| 엣지 칩스 | 허용되지 않음(길이 및 너비≥0.5mm) | ||||
| 들여쓰기 | 허용되지 않음 | ||||
| 스크래치(Si-Face) | 수량≤5,누적 | 수량≤5,누적 | 수량≤5,누적 | ||
| 균열 | 허용되지 않음 | ||||
| 에지 제외 | 3mm | ||||





