VET Energyの8インチシリコンウェーハは、パワーエレクトロニクス、センサー、集積回路などの分野で幅広く使用されています。半導体業界のリーダーとして、私たちはお客様の高まるニーズに応えるため、高品質のSiウェーハ製品の提供に尽力しています。
VET Energyは、Siウェハに加え、SiC基板、SOIウェハ、SiN基板、エピウェハなど、幅広い半導体基板材料を提供しています。また、当社の製品ラインには、酸化ガリウムGa2O3やAlNウェハなどの新しいワイドバンドギャップ半導体材料も含まれており、次世代のパワーエレクトロニクスデバイスの開発を強力にサポートします。
VET Energyは、高度な生産設備と包括的な品質管理システムを備え、すべてのウェハが厳格な業界基準を満たすことを保証しています。当社の製品は、優れた電気特性だけでなく、優れた機械的強度と熱安定性も備えています。
VET Energyは、様々なサイズ、種類、ドーピング濃度のウェーハを含む、お客様に合わせたウェーハソリューションを提供しています。さらに、専門的な技術サポートとアフターサービスも提供し、生産プロセス中に発生する様々な問題の解決を支援します。
ウェーハ仕様
*n-Pm=n型Pmグレード、n-Ps=n型Psグレード、Sl=半絶縁
| アイテム | 8インチ | 6インチ | 4インチ | ||
| nP | n-午後 | n-Ps | SI | SI | |
| TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| ボウ(GF3YFCD)-絶対値 | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
| ワープ(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
| LTV(SBIR)-10mmx10mm | 2μm未満 | ||||
| ウェーハエッジ | 面取り | ||||
表面仕上げ
*n-Pm=n型Pmグレード、n-Ps=n型Psグレード、Sl=半絶縁
| アイテム | 8インチ | 6インチ | 4インチ | ||
| nP | n-午後 | n-Ps | SI | SI | |
| 表面仕上げ | 両面光学研磨、Si面CMP | ||||
| 表面粗さ | (10um x 10um) Si面Ra≤0.2nm | (5umx5um) Si面Ra≤0.2nm | |||
| エッジチップ | なし 許可なし(長さと幅≥0.5mm) | ||||
| インデント | 許可なし | ||||
| 傷(Si面) | 数量≤5、累計 | 数量≤5、累計 | 数量≤5、累計 | ||
| ひび割れ | 許可なし | ||||
| エッジ除外 | 3mm | ||||





