Te Pure 8 Inihi Silicon Wafer

Tino Pure 8 Inihi Silicon Wafer Whakaaturanga Whakaahua

Whakaahuatanga Poto:

Ko nga angiangi hiraka 8-inihi tino parakore a VET Energy ko to whiringa pai mo te hanga semiconductor. I hangaia ma te hangarau matatau, he pai te kounga o te karaihe me te papatahi o te mata o enei angiangi, e tika ana mo te hanga momo momo miihini hiko.

Tukuna he imeera ki a matou Tikiake hei PDF

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Ko nga angiangi angiangi 8-inihi a VET Energy e whakamahia nuitia ana i roto i nga hikohiko hiko, nga pūoko, nga iahiko whakauru me etahi atu mara. Hei kaihautu i roto i te ahumahi semiconductor, ka whakapau kaha matou ki te whakarato i nga hua Si Wafer kounga teitei hei whakatutuki i nga hiahia tipu o o taatau kaihoko.

I tua atu ki a Si Wafer, ka whakaratohia ano hoki e te VET Energy te tini o nga taputapu taputapu semiconductor, tae atu ki te SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, me etahi atu, kei te hipoki ano hoki ta tatou raina hua i nga rauemi semiconductor bandgap whanui hou penei i te Gallium Oxide Ga2O3 me te AlN Wafer, e whakarato ana i te tautoko kaha mo te whakawhanaketanga o nga taputapu hiko hiko o muri mai.

Kei a VET Energy nga taputapu whakangao matatau me te punaha whakahaere kounga katoa hei whakarite kia tutuki ia waera ki nga paerewa umanga kaha. Ko o maatau hua ehara i te mea he pai nga waahanga hiko, engari he pai te kaha miihini me te pumau o te waiariki.

Ka whakawhiwhia e te VET Energy ki nga kaihoko nga rongoa angiangi kua whakaritea, tae atu ki nga angiangi he rereke te rahi, nga momo me nga kohinga doping. I tua atu, ka whakarato ano hoki matou i te tautoko hangarau ngaio me te ratonga muri-hoko hei awhina i nga kaihoko ki te whakaoti i nga raruraru rereke i te wa o te mahi whakaputa.

NGA WHAKAMAHI WAFERING

*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating

Tūemi	8-Inihi	6-Inihi			4-Inihi
Tūemi	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
TTV(GBIR)	≤6um	≤6um
Kopere(GF3YFCD)-Uara Tino	≤15μm	≤15μm	≤25μm		≤15μm
Warp(GF3YFER)	≤25μm	≤25μm	≤40μm		≤25μm
LTV(SBIR)-10mmx10mm	<2μm
Tapa Wafer	Tirohanga

MATA OTI

*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating

Tūemi	8-Inihi	6-Inihi			4-Inihi
	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
Mata Mutu	Takirua taha Optical Polish,Si- Kanohi CMP
Ruarua Mata	(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm C-Mata Ra≤ 0.5nm			(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C-Mata Ra≤0.5nm
Tipi Tipi	Kore e Whakaaetia (te roa me te whanui≥0.5mm)
Nuku	Kaore i Whakaaetia
Nga karawarawa(Si-kanohi)	Qty.≤5, Huihuinga Length≤0.5×wafer diameter	Qty.≤5, Huihuinga Length≤0.5×wafer diameter			Qty.≤5, Huihuinga Length≤0.5×wafer diameter
Kapiti	Kaore i Whakaaetia
Whakakorenga Tapa	3mm