VET Energys 8-tommer siliciumwafere anvendes i vid udstrækning inden for effektelektronik, sensorer, integrerede kredsløb og andre områder. Som førende inden for halvlederindustrien er vi forpligtet til at levere Si Wafer-produkter af høj kvalitet for at imødekomme vores kunders voksende behov.
Ud over Si-wafere leverer VET Energy også en bred vifte af halvledersubstratmaterialer, herunder SiC-substrat, SOI-wafer, SiN-substrat, Epi-wafer osv. Vores produktsortiment dækker også nye halvledermaterialer med bredt båndgab, såsom galliumoxid Ga2O3 og AlN-wafere, hvilket yder stærk støtte til udviklingen af næste generations effektelektroniske enheder.
VET Energy har avanceret produktionsudstyr og et komplet kvalitetsstyringssystem for at sikre, at hver wafer opfylder strenge industristandarder. Vores produkter har ikke kun fremragende elektriske egenskaber, men også god mekanisk styrke og termisk stabilitet.
VET Energy tilbyder kunder skræddersyede waferløsninger, herunder wafere i forskellige størrelser, typer og dopingkoncentrationer. Derudover tilbyder vi også professionel teknisk support og eftersalgsservice for at hjælpe kunder med at løse forskellige problemer, der opstår under produktionsprocessen.
SPECIFIKATIONER FOR VAFFERING
*n-Pm=n-type Pm-kvalitet,n-Ps=n-type Ps-kvalitet,Sl=Semiisolerende
| Punkt | 8-tommer | 6-tommer | 4-tommer | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| Bue(GF3YFCD) - Absolut værdi | ≤15 μm | ≤15 μm | ≤25 μm | ≤15 μm | |
| Warp (GF3YFER) | ≤25 μm | ≤25 μm | ≤40 μm | ≤25 μm | |
| LTV(SBIR) - 10 mm x 10 mm | <2 μm | ||||
| Waferkant | Affasning | ||||
OVERFLADEFINISH
*n-Pm=n-type Pm-kvalitet,n-Ps=n-type Ps-kvalitet,Sl=Semiisolerende
| Punkt | 8-tommer | 6-tommer | 4-tommer | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| Overfladefinish | Dobbeltsidet optisk polering, Si-Face CMP | ||||
| Overfladeruhed | (10µm x 10µm) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm | |||
| Kantchips | Ingen tilladt (længde og bredde ≥0,5 mm) | ||||
| Indryk | Ingen tilladt | ||||
| Ridser (Si-Face) | Antal ≤5, Kumulativ | Antal ≤5, Kumulativ | Antal ≤5, Kumulativ | ||
| Revner | Ingen tilladt | ||||
| Kantudelukkelse | 3 mm | ||||





