Boti ya Quartz ya Usafi wa Juu kwa Usindikaji wa Wafer

Boti ya Wafer ya Quartzni chombo muhimu cha kubeba katika utengenezaji wa nusu-semiconductor, uzalishaji wa seli za photovoltaic na utafiti na maendeleo ya nyenzo za hali ya juu, iliyoundwa kwa ajili ya uhamishaji thabiti wa wafer na uwekaji katika michakato ya hali ya juu ya joto. Bidhaa hii imetengenezwa kwa silika iliyochanganywa (SiO2) yenye usafi wa hali ya juu sana, yenye upinzani bora wa hali ya joto, uthabiti wa kemikali na sifa za uchafuzi wa metali wa chini sana, inayofaa kwa tanuru ya uenezaji, tanuru ya oksidi, PECVD/LPCVD na vifaa vingine, vinavyotumika sana katika mipako ya wafer, upandikizaji wa ioni, upandikizaji wa joto la juu na michakato mingine ya msingi.

Faida Kuu za boti ya quartz ya VET Energy:

• Nyenzo ya usafi wa hali ya juu sana
  Usafi ≥99.99%: Kiwango cha uchafu (Na, K, Fe, n.k.) <5ppm, kuepuka uchafuzi wa wafer na kuhakikisha mavuno ya chips.
  Mvua na unyevu mdogo: uso umeng'arishwa sana (Ra≤0.4μm) ili kupunguza mshikamano wa chembe na mabaki ya gesi.
• Uthabiti wa halijoto ya juu
  Kikomo cha halijoto: Joto la kufanya kazi la muda mrefu la 1100℃, kilele cha muda mfupi cha 1300℃, hakuna mabadiliko, hakuna mvua ya fuwele.
  Mgawo mdogo wa upanuzi wa joto (5.5x10-7/℃), upinzani bora wa mshtuko wa joto, unaoweza kubadilika kwa mchakato wa kupanda na kuanguka kwa joto haraka (km RTP rapid annealing).
• Ubunifu sahihi wa miundo
  Usahihi wa nafasi±0.1mm: kulinganisha wafers za 2”hadi 12”, hitilafu ya usawa wa nafasi <0.05mm, kuhakikisha wafers hazina mkato.
  Uwezo mkubwa wa kubeba: Uzito wa juu zaidi wa wafers 50 (kwa upande wa wafers za inchi 12) katika boti moja, inayounga mkono uhamishaji thabiti wa wafers nyembamba (≥100um).
• Uchakavu wa kemikali
  Upinzani wa kutu: Hustahimili asidi (isipokuwa HF), alkali na kiyeyusho cha kikaboni kutu, inaendana na mchakato wa kusafisha CMP.
  Ukakamavu bora wa gesi: Kiwango cha uvujaji <5x10-10 Pa.m3/s, kinafaa kwa mazingira ya gesi ya utupu na kinga.
• Maisha marefu na utunzaji
  Muda wa kuishi ≥ mizunguko 5000 (hali ya kawaida ya kazi), uso unaweza kusafishwa na kutumika mara kwa mara, na kupunguza gharama ya jumla.
  Muundo wa moduli: inasaidia uingizwaji wa sehemu (km jino la boti moja), kupunguza muda wa kutofanya kazi.

Tunatoa nyuso zenye uwazi na zenye barafu kulingana na mahitaji ya mteja:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ni biashara ya teknolojia ya hali ya juu inayozingatia uzalishaji na uuzaji wa vifaa vya hali ya juu, vifaa na teknolojia ikijumuisha grafiti, karabidi ya silikoni, kauri, matibabu ya uso kama vile mipako ya SiC, mipako ya TaC, mipako ya kaboni ya kioo, mipako ya kaboni ya pyrolytic, n.k., bidhaa hizi hutumika sana katika photovoltaic, semiconductor, nishati mpya, madini, n.k.

Timu yetu ya kiufundi inatoka katika taasisi bora za utafiti wa ndani, na imeunda teknolojia nyingi zilizo na hati miliki ili kuhakikisha utendaji na ubora wa bidhaa, inaweza pia kuwapa wateja suluhisho za nyenzo za kitaalamu.