የሲሊኮን ካርባይድ ምድጃ ቱቦ የሲሲ ሬአክተር ቱቦ

የሲሊኮን ካርባይድ ምድጃ ቱቦ የሲሲ ሬአክተር ቱቦ
ከፍተኛ ንፁህ ሲሊከን ካርቦይድየሲሲ ሬአክተር ቱቦእጅግ በጣም ከፍተኛ ንፁህ ሲሊኮን ካርቦይድ (SiC) የተሰራ ወሳኝ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው አካል ሲሆን በተለይም እንደ ሴሚኮንዳክተሮች እና ፎቶቮልታይኮች ላሉ አስቸጋሪ የሂደት አካባቢዎች የተነደፈ ነው። የሲሊኮን ካርቦይድ (ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም እና ከፍተኛ የሙቀት አማቂነት) ውስጣዊ ጥቅሞችን በመጠቀም፣ ባህላዊ ኳርትዝ ወይም የብረት ቱቦዎችን በመተካት በተራቀቀ ማኑፋክቸሪንግ ውስጥ ዋና ፍጆታ ሆነዋል።
VET Energy ለከፍተኛ ሙቀት እና ለዝገት ለሚውሉ ሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ቱቦዎችን ዲዛይን እና ማምረት ላይ የተካነ ነው። የላቀ የማምረቻ ተቋማት ያሉት
እና የባለቤትነት መብት ያላቸው የCVD እና የሲንቴሪንግ ቴክኖሎጂዎች፣ እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት፣ የኦክሳይድ መቋቋም እና ረጅም የአገልግሎት ዘመን ያላቸው ቱቦዎችን እናቀርባለን።

የVET ኢነርጂ የሲሲ ቱቦዎች ጥቅሞች፡

እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና፡ልዩ የሆነ የሲንቴሪንግ ሂደት በመጠቀም የሚመረተው ጎጂ የብረት ቆሻሻዎች (እንደ ና፣ ኬ፣ ፌ እና አል ያሉ) ወደ ፒፒቢ ደረጃ ይቀንሳሉ።
እጅግ በጣም ዝቅተኛ የጋዝ መመረዝ;በከፍተኛ ሙቀት፣ ከፍተኛ የቫክዩም አካባቢዎች፣ የጋዝ መጨፍጨፍ ከኳርትዝ በጣም ያነሰ ነው፣ ይህም የሂደት ክፍል ብክለትን ውጤታማ በሆነ መንገድ ይከላከላል፣ የተቀበሩ ቀጭን ፊልሞችን ወይም ክሪስታል እድገትን ውስጣዊ ጥራት ያረጋግጣል፣ እና የምርት ምርትን በእጅጉ ያሻሽላል (በተለይ ለ SiC epitaxy፣ GaN እድገት እና ከፍተኛ ደረጃ ላለው ነጠላ-ክሪስታል ሲሊከን ምርት ወሳኝ)።
ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋት፡ከ1600°ሴ በላይ የሚዘልቅ የረጅም ጊዜ የአሠራር ሙቀት (ከኳርትዝ ማለስለሻ ነጥብ በጣም ከፍ ያለ፣ በግምት 1200°ሴ) ሊኖር ይችላል፣ እና የአጭር ጊዜ የሙቀት መጠኖች ከፍ ያሉ የሙቀት መጠኖችን (እንደ 1800°ሴ ያሉ) እንኳን መቋቋም ይችላሉ፣ ይህም የሶስተኛ ትውልድ ሴሚኮንዳክተሮች እና የክሪስታል እድገት ሂደቶች እጅግ በጣም ከፍተኛ የሙቀት መስፈርቶችን ያሟላል።
የኬሚካል ዝገት መቋቋም፡እንደ HCl፣ Cl₂ እና HF ላሉ ከፍተኛ ዝገት ላላቸው ጋዞች እንዲሁም ለቀለጠ ሲሊከን እና ለብረት ትነት ከፍተኛ የመቋቋም ችሎታ ያለው ሲሆን እንደ CVD፣ ስርጭት፣ ኦክሲዴሽን እና ኢቺንግ ባሉ ውስብስብ ከባቢ አየር ውስጥ መዋቅራዊ ታማኝነትን እና የገጽታ አጨራረስን የሚጠብቅ ሲሆን ከኳርትዝ ምድጃ ቱቦዎች የበለጠ የህይወት ዘመን አለው።
እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያነት;የሙቀት አማቂነቱ ከኳርትዝ በደርዘን የሚቆጠሩ እጥፍ የሚበልጥ ሲሆን ይህም ፈጣን እና የበለጠ ወጥ የሆነ የምድጃ ሙቀት ስርጭትን ያስችላል እንዲሁም የሂደቱን ወጥነት እና ተደጋጋሚነትን ያሻሽላል። ይህ በተለይ ለትልቅ ቦታ፣ ባለብዙ-ዋፈር ማቀነባበሪያ (ለምሳሌ፣ የፎቶቮልታይክ ስርጭት ምድጃዎች እና የMOCVD ሬአክተሮች) በጣም አስፈላጊ ነው።
የመለኪያ መረጋጋት፡እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሆነው የሙቀት መስፋፋት ቅንጅቱ የእቶኑ ቱቦ በተደጋጋሚ እና ከባድ የሙቀት መለዋወጥ ቢከሰትም እንኳን በጣም የተረጋጋ ጂኦሜትሪ እንዲኖረው ያረጋግጣል፣ ይህም በሙቀት መስፋፋት እና በመቀነስ ምክንያት የሚፈጠረውን የማኅተም ውድቀት ወይም የጭንቀት ክምችት ይከላከላል።
ዘላቂነት፡ከፍተኛ ጥንካሬው እና ጥንካሬው የእቶኑ ቱቦ እጅግ በጣም ጥሩ የሜካኒካል ባህሪያትን ይሰጠዋል፣ ይህም ለመበስበስ እና ለጉዳት መቋቋም ይችላል።