Szilícium-karbid kemencecső SiC reaktorcső

Szilícium-karbid kemencecső SiC reaktorcső
Nagy tisztaságú szilícium-karbidSiC reaktorcsőegy kritikus, magas hőmérsékletű alkatrész, amely ultra nagy tisztaságú szilícium-karbidból (SiC) készül, és kifejezetten igényes folyamatkörnyezetekhez, például félvezetőkhöz és fotovoltaikus elemekhez készült. A szilícium-karbid inherens előnyeit (magas hőmérséklet-állóság, korrózióállóság és magas hővezető képesség) kihasználva a fejlett gyártás alapvető fogyóeszközévé vált, felváltva a hagyományos kvarc- vagy fémcsöveket.
A VET Energy szilícium-karbid (SiC) csövek tervezésére és gyártására specializálódott magas hőmérsékletű és korrozív félvezető alkalmazásokhoz. Korszerű gyártóberendezésekkel rendelkezik.
és saját fejlesztésű CVD és szinterezési technológiáknak köszönhetően olyan csöveket szállítunk, amelyek kiváló hőstabilitással, oxidációs ellenállással és hosszú élettartammal rendelkeznek.

A VET Energy SiC csöveinek előnyei:

Ultra nagy tisztaságú:Egy speciális szinterelési eljárással előállítva a káros fémszennyeződéseket (például Na, K, Fe és Al) a ppb szintre csökkentik.
Rendkívül alacsony gázkibocsátás:Magas hőmérsékletű, nagyvákuumú környezetben a gázkibocsátás jóval alacsonyabb, mint a kvarc esetében, ami hatékonyan megakadályozza a folyamatkamra szennyeződését, biztosítja a lerakódott vékonyrétegek vagy kristálynövekedés belső minőségét, és jelentősen javítja a termékhozamot (különösen fontos a SiC epitaxia, a GaN növekedés és a csúcskategóriás egykristályos szilíciumgyártás szempontjából).
Magas hőmérsékletű stabilitás:Hosszú távon 1600°C-ot meghaladó üzemi hőmérséklet (jóval a kvarc lágyuláspontja, körülbelül 1200°C felett) is lehetséges, rövid távon pedig még magasabb hőmérsékleteket (például 1800°C-ot) is elbír, megfelelve a harmadik generációs félvezetők és kristálynövekedési folyamatok ultramagas hőmérsékleti követelményeinek.
Kémiai korrózióállóság:Rendkívül ellenálló az erősen korrozív gázokkal, például HCl-lel, Cl₂-vel és HF-fel, valamint az olvadt szilíciummal és fémgőzzel szemben, megőrzi szerkezeti integritását és felületi minőségét összetett atmoszférákban, például CVD, diffúzió, oxidáció és maratás esetén, élettartama pedig messze meghaladja a kvarc kemencecsövek élettartamát.
Kiváló hővezető képesség:Hővezető képessége több tucatszor nagyobb, mint a kvarcé, ami lehetővé teszi a gyorsabb és egyenletesebb kemencehőmérséklet-eloszlást, valamint javítja a folyamat egyenletességét és megismételhetőségét. Ez különösen fontos a nagy felületű, több szeletet tartalmazó feldolgozásnál (pl. fotovoltaikus diffúziós kemencék és MOCVD reaktorok).
Méretstabilitás:Rendkívül alacsony hőtágulási együtthatója biztosítja, hogy a kemencecső ismétlődő és drasztikus hőmérséklet-ingadozások esetén is rendkívül stabil geometriát tart fenn, megakadályozva a tömítés meghibásodását vagy a hőtágulás és -összehúzódás okozta feszültségkoncentrációt.
Tartósság:Nagy keménysége és szilárdsága kiváló mechanikai tulajdonságokat kölcsönöz a kemencecsőnek, így ellenáll a deformációnak és a sérüléseknek.