Силициумска карбидна цевка од печка SiC реакторска цевка

Силициумска карбидна цевка од печка SiC реакторска цевка
Силициум карбид со висока чистотаSiC реакторска цевкае критична компонента за високи температури изработена од силициум карбид со ултра висока чистота (SiC), специјално дизајнирана за процесни средини со високи барања како што се полупроводници и фотоволтаици. Искористувајќи ги вродените предности на силициум карбидот (отпорност на високи температури, отпорност на корозија и висока топлинска спроводливост), тие станаа потрошен материјал за јадро во напредното производство, заменувајќи ги традиционалните кварцни или метални цевки.
VET Energy е специјализирана за дизајнирање и производство на силициум карбидни (SiC) цевки за високотемпературни и корозивни полупроводнички апликации. Со напредни производствени капацитети.
и со сопствени CVD и синтерување технологии, испорачуваме цевки кои се одликуваат со одлична термичка стабилност, отпорност на оксидација и долг работен век.

Предности на SiC цевките на VET Energy:

Ултра висока чистота:Произведено со посебен процес на синтерување, штетните метални нечистотии (како што се Na, K, Fe и Al) се редуцираат на ниво на ppb.
Екстремно ниско испуштање гасови:Во средини со висока температура и висок вакуум, испуштањето гасови е далеку помало од она на кварцот, што ефикасно спречува контаминација на процесната комора, обезбедувајќи вроден квалитет на таложената тенка филмска обвивка или раст на кристали и значително подобрувајќи го приносот на производот (особено критично за SiC епитаксија, раст на GaN и производство на висококвалитетен монокристален силициум).
Стабилност на висока температура:Можни се долготрајни работни температури што надминуваат 1600°C (далеку над точката на омекнување на кварцот, приближно 1200°C), а краткорочните температури можат да издржат дури и повисоки температури (како што се 1800°C), задоволувајќи ги ултра-високите температурни барања на полупроводниците од трета генерација и процесите на раст на кристали.
Отпорност на хемиска корозија:Високо отпорен на високо корозивни гасови како што се HCl, Cl₂ и HF, како и на стопен силициум и метална пареа, одржувајќи го структурниот интегритет и површинската завршна обработка во сложени атмосфери како што се CVD, дифузија, оксидација и јоргани, со животен век далеку поголем од оној на кварцните цевки од печка.
Одлична топлинска спроводливост:Неговата топлинска спроводливост е десетици пати поголема од онаа на кварцот, што овозможува побрза и порамномерна распределба на температурата на печката и ја подобрува униформноста и повторувањето на процесот. Ова е особено критично за обработка на големи површини со повеќе плочки (на пр., фотоволтаични дифузни печки и MOCVD реактори).
Димензионална стабилност:Неговиот екстремно низок коефициент на термичка експанзија обезбедува цевката на печката да одржува високо стабилна геометрија дури и кога е подложена на повторени и драстични температурни флуктуации, спречувајќи дефект на заптивката или концентрација на стрес предизвикани од термичка експанзија и контракција.
Издржливост:Неговата висока цврстина и цврстина ѝ даваат на цевката од печката одлични механички својства, што ја прави отпорна на деформација и оштетување.