Кремний карбиды мич трубкасы SiC реактор трубкасы

Кремний карбиды мич трубкасы SiC реактор трубкасы
Югары сафлыклы кремний карбидыSiC реактор трубкасыярымүткәргечләр һәм фотоэлектриклар кебек катлаулы процесс мохите өчен махсус эшләнгән, ультра югары чисталыклы кремний карбидыннан (SiC) ясалган мөһим югары температуралы компонент. Кремний карбидының табигый өстенлекләрен (югары температурага чыдамлык, коррозиягә чыдамлык һәм югары җылылык үткәрүчәнлек) кулланып, алар алдынгы җитештерүдә төп кулланылыш матдәсенә әйләнде, традицион кварц яки металл торбаларны алыштырды.
VET Energy югары температуралы һәм коррозияле ярымүткәргеч кушымталар өчен кремний карбиды (SiC) трубкаларын проектлау һәм җитештерүдә махсуслаша. Алдынгы җитештерү корылмалары белән.
һәм патентланган CVD һәм блендерлау технологияләрен кулланып, без бик яхшы термик тотрыклылыкка, оксидлашуга чыдамлыкка һәм озак хезмәт итү вакытына ия булган трубкалар тәкъдим итәбез.

VET Energy компаниясенең SiC лампаларының өстенлекләре:

Бик югары сафлык:Махсус блендерлау процессы ярдәмендә җитештерелгәндә, зарарлы металл катнашмалары (мәсәлән, Na, K, Fe һәм Al) ppb дәрәҗәсенә кадәр кими.
Бик аз газ чыгару:Югары температуралы, югары вакуумлы мохиттә газ чыгару кварцка караганда күпкә түбәнрәк, бу процесс камерасының пычрануын нәтиҗәле рәвештә булдырмый, утыртылган юка пленкаларның яки ​​кристалл үсешенең үзенчәлекле сыйфатын тәэмин итә һәм продукт чыгышын сизелерлек яхшырта (бигрәк тә SiC эпитакси, GaN үсеше һәм югары сыйфатлы монокристалл кремний җитештерү өчен мөһим).
Югары температура тотрыклылыгы:Озак вакытлы эш температурасы 1600°C тан артып китәргә мөмкин (кварцның йомшару ноктасыннан шактый югарырак, якынча 1200°C), ә кыска вакытлы температуралар тагын да югарырак температураларга (мәсәлән, 1800°C) түзә ала, өченче буын ярымүткәргечләрнең һәм кристалл үстерү процессларының ультра югары температура таләпләрен канәгатьләндерә.
Химик коррозиягә каршы торучанлык:HCl, Cl₂ һәм HF кебек югары коррозияле газларга, шулай ук ​​эрегән кремний һәм металл парларына югары чыдам, CVD, диффузия, оксидлашу һәм гравюра кебек катлаулы атмосфераларда структураның бөтенлеген һәм өслек бизәлешен саклый, кварц мич торбаларынкыннан күпкә озаграк хезмәт итә.
Бик яхшы җылылык үткәрүчәнлеге:Аның җылылык үткәрүчәнлеге кварцныкына караганда дистәләгән тапкыр югарырак, бу мич температурасын тизрәк һәм тигезрәк бүлүне тәэмин итә, процессның бердәмлеген һәм кабатланучанлыгын яхшырта. Бу, бигрәк тә, зур мәйданлы, күп пластиналы эшкәртү өчен бик мөһим (мәсәлән, фотоэлектрик диффузия мичләре һәм MOCVD реакторлары).
Үлчәм тотрыклылыгы:Аның бик түбән җылылык киңәю коэффициенты мич торбасының кат-кат һәм кискен температура тирбәнешләренә дучар булганда да югары дәрәҗәдә тотрыклы геометриясен саклап калуын тәэмин итә, җылылык киңәюе һәм кысылуы аркасында килеп чыккан тыгызлауның җимерелүен яки көчәнеш концентрациясен булдырмый.
Чыдамлык:Аның югары катылыгы һәм ныклыгы мич торбасына бик яхшы механик үзлекләр бирә, аны деформациягә һәм зыянга чыдам итә.