Tabung Tungku Silikon Karbida (SiC) Tabung Reaktor

Tabung Tungku Silikon Karbida (SiC) Tabung Reaktor
Silikon karbida dengan kemurnian tinggitabung reaktor SiCTabung vakum merupakan komponen suhu tinggi penting yang terbuat dari silikon karbida (SiC) dengan kemurnian sangat tinggi, yang dirancang khusus untuk lingkungan proses yang menuntut seperti semikonduktor dan fotovoltaik. Dengan memanfaatkan keunggulan bawaan silikon karbida (ketahanan suhu tinggi, ketahanan korosi, dan konduktivitas termal tinggi), tabung vakum telah menjadi bahan habis pakai inti dalam manufaktur canggih, menggantikan tabung kuarsa atau logam tradisional.
VET Energy mengkhususkan diri dalam desain dan pembuatan tabung silikon karbida (SiC) untuk aplikasi semikonduktor suhu tinggi dan korosif. Dengan fasilitas produksi yang canggih
Dengan teknologi CVD dan sintering eksklusif, kami menghadirkan tabung yang memiliki stabilitas termal, ketahanan oksidasi, dan masa pakai yang lama.

Keunggulan tabung SiC dari VET Energy:

Kemurnian Sangat Tinggi:Diproduksi menggunakan proses sintering khusus, pengotor logam berbahaya (seperti Na, K, Fe, dan Al) dikurangi hingga tingkat ppb.
Pelepasan Gas yang Sangat Rendah:Dalam lingkungan suhu tinggi dan vakum tinggi, pelepasan gas jauh lebih rendah daripada kuarsa, secara efektif mencegah kontaminasi ruang proses, memastikan kualitas intrinsik lapisan tipis yang diendapkan atau pertumbuhan kristal, dan secara signifikan meningkatkan hasil produk (terutama penting untuk epitaksi SiC, pertumbuhan GaN, dan produksi silikon kristal tunggal kelas atas).
Stabilitas Suhu Tinggi:Suhu operasi jangka panjang yang melebihi 1600°C (jauh di atas titik pelunakan kuarsa, sekitar 1200°C) dimungkinkan, dan suhu jangka pendek bahkan dapat menahan suhu yang lebih tinggi (seperti 1800°C), memenuhi persyaratan suhu ultra-tinggi dari semikonduktor generasi ketiga dan proses pertumbuhan kristal.
Ketahanan Korosi Kimia:Sangat tahan terhadap gas yang sangat korosif seperti HCl, Cl₂, dan HF, serta silikon cair dan uap logam, menjaga integritas struktural dan hasil akhir permukaan dalam atmosfer kompleks seperti CVD, difusi, oksidasi, dan etsa, dengan masa pakai yang jauh melebihi tabung tungku kuarsa.
Konduktivitas Termal yang Sangat Baik:Konduktivitas termalnya puluhan kali lebih besar daripada kuarsa, memungkinkan distribusi suhu tungku yang lebih cepat dan seragam serta meningkatkan keseragaman dan pengulangan proses. Hal ini sangat penting untuk pemrosesan area luas dan multi-wafer (misalnya, tungku difusi fotovoltaik dan reaktor MOCVD).
Stabilitas Dimensi:Koefisien ekspansi termalnya yang sangat rendah memastikan tabung tungku mempertahankan geometri yang sangat stabil bahkan ketika mengalami fluktuasi suhu yang berulang dan drastis, mencegah kegagalan segel atau konsentrasi tegangan yang disebabkan oleh ekspansi dan kontraksi termal.
Daya tahan:Kekerasan dan kekuatannya yang tinggi memberikan tabung tungku sifat mekanik yang sangat baik, sehingga tahan terhadap deformasi dan kerusakan.