Силицијум-карбидна цев за пећ, SiC реакторска цев

Силицијум-карбидна цев за пећ, SiC реакторска цев
Силицијум карбид високе чистоћеSiC реакторска цевје критична компонента отпорна на високе температуре направљена од силицијум карбида (SiC) ултра високе чистоће, посебно дизајнирана за захтевна процесна окружења као што су полупроводници и фотонапонски системи. Користећи инхерентне предности силицијум карбида (отпорност на високе температуре, отпорност на корозију и висока топлотна проводљивост), постали су основни потрошни материјал у напредној производњи, замењујући традиционалне кварцне или металне цеви.
VET Energy је специјализован за пројектовање и производњу цеви од силицијум-карбида (SiC) за примене у полупроводницима на високим температурама и у корозивним условима. Са напредним производним погонима.
и захваљујући патентираним CVD и технологијама синтеровања, испоручујемо цеви које се одликују одличном термичком стабилношћу, отпорношћу на оксидацију и дугим веком трајања.

Предности SiC цеви компаније VET Energy:

Ултра висока чистоћа:Произведено посебним поступком синтеровања, штетне металне нечистоће (као што су Na, K, Fe и Al) су смањене на ниво ppb.
Изузетно ниско испуштање гасова:У окружењима високе температуре и високог вакуума, испуштање гасова је далеко ниже него код кварца, што ефикасно спречава контаминацију процесне коморе, обезбеђује суштински квалитет депонованих танких филмова или раста кристала и значајно побољшава принос производа (посебно критично за SiC епитаксију, раст GaN и производњу висококвалитетних монокристалних силицијума).
Стабилност на високим температурама:Дуготрајне радне температуре које прелазе 1600°C (знатно изнад тачке омекшавања кварца, приближно 1200°C) су могуће, а краткотрајне температуре могу издржати чак и више температуре (као што је 1800°C), испуњавајући захтеве за ултра-високе температуре полупроводника треће генерације и процеса раста кристала.
Отпорност на хемијску корозију:Веома отпоран на јако корозивне гасове као што су HCl, Cl₂ и HF, као и на растопљени силицијум и металне паре, одржавајући структурни интегритет и површинску обраду у сложеним атмосферама као што су CVD, дифузија, оксидација и нагризање, са веком трајања који далеко превазилази век трајања кварцних пећи.
Одлична топлотна проводљивост:Његова топлотна проводљивост је десетине пута већа од кварцне, што омогућава бржу и равномернију расподелу температуре пећи и побољшава униформност и поновљивост процеса. Ово је посебно критично за обраду вишеструких плочица велике површине (нпр. фотонапонске дифузионе пећи и MOCVD реактори).
Димензионална стабилност:Његов изузетно низак коефицијент термичког ширења осигурава да цев пећи одржава веома стабилну геометрију чак и када је изложена поновљеним и драстичним температурним флуктуацијама, спречавајући квар заптивача или концентрацију напона узроковану термичким ширењем и скупљањем.
Трајност:Његова висока тврдоћа и чврстоћа дају цеви пећи одлична механичка својства, чинећи је отпорном на деформације и оштећења.