Սիլիկոնային կարբիդային վառարանի խողովակ SiC ռեակտորի խողովակ

Սիլիկոնային կարբիդային վառարանի խողովակ SiC ռեակտորի խողովակ
Բարձր մաքրության սիլիցիումի կարբիդSiC ռեակտորի խողովակՍիլիցիումի կարբիդը (SiC) պատրաստված գերբարձր մաքրության սիլիցիումի կարբիդից (SiC) պատրաստված կարևորագույն բարձր ջերմաստիճանային բաղադրիչ է, որը հատուկ նախագծված է պահանջկոտ գործընթացային միջավայրերի համար, ինչպիսիք են կիսահաղորդիչները և ֆոտովոլտայինները: Օգտագործելով սիլիցիումի կարբիդի ներքին առավելությունները (բարձր ջերմաստիճանային դիմադրություն, կոռոզիայի դիմադրություն և բարձր ջերմահաղորդականություն), դրանք դարձել են առաջադեմ արտադրության հիմնական սպառվող նյութ՝ փոխարինելով ավանդական քվարցային կամ մետաղական խողովակները:
VET Energy-ն մասնագիտանում է բարձր ջերմաստիճանային և քայքայիչ կիսահաղորդչային կիրառությունների համար նախատեսված սիլիցիումի կարբիդային (SiC) խողովակների նախագծման և արտադրության մեջ: Ունենալով առաջադեմ արտադրական հզորություններ:
և սեփական CVD և սինտերացման տեխնոլոգիաների շնորհիվ մենք մատակարարում ենք խողովակներ, որոնք առանձնանում են գերազանց ջերմային կայունությամբ, օքսիդացման դիմադրողականությամբ և երկար ծառայության ժամկետով։

VET Energy-ի SiC խողովակների առավելությունները՝

Գերբարձր մաքրություն.Հատուկ սինտերացման գործընթացով արտադրված վնասակար մետաղական խառնուրդները (օրինակ՝ Na, K, Fe և Al) վերականգնվում են մինչև ppb մակարդակի։
Չափազանց ցածր արտանետում.Բարձր ջերմաստիճանի, բարձր վակուումի միջավայրերում գազերի արտանետումը շատ ավելի ցածր է, քան քվարցի դեպքում, ինչը արդյունավետորեն կանխում է պրոցեսային խցիկի աղտոտումը, ապահովում է նստվածքային բարակ թաղանթների կամ բյուրեղների աճի ներքին որակը և զգալիորեն բարելավում է արտադրանքի արտադրողականությունը (հատկապես կարևոր է SiC էպիտաքսիայի, GaN աճի և բարձրակարգ միաբյուրեղային սիլիցիումի արտադրության համար):
Բարձր ջերմաստիճանի կայունություն.Հնարավոր են 1600°C-ից (քվարցի փափկացման կետից զգալիորեն բարձր, մոտավորապես 1200°C) գերազանցող երկարաժամկետ աշխատանքային ջերմաստիճաններ, իսկ կարճաժամկետ ջերմաստիճանները կարող են դիմակայել նույնիսկ ավելի բարձր ջերմաստիճանների (օրինակ՝ 1800°C)՝ բավարարելով երրորդ սերնդի կիսահաղորդիչների և բյուրեղների աճեցման գործընթացների գերբարձր ջերմաստիճանային պահանջները։
Քիմիական կոռոզիայի դիմադրություն.Բարձր դիմացկուն է բարձր կոռոզիոն գազերի, ինչպիսիք են HCl-ը, Cl₂-ը և HF-ը, ինչպես նաև հալված սիլիցիումի և մետաղական գոլորշու նկատմամբ, պահպանելով կառուցվածքային ամբողջականությունը և մակերեսի մշակումը բարդ մթնոլորտներում, ինչպիսիք են CVD-ն, դիֆուզիան, օքսիդացումը և փորագրությունը, և ունի քվարցային վառարանային խողովակների կյանքի տևողություն, որը զգալիորեն գերազանցում է քվարցային վառարանային խողովակների կյանքի տևողությունը։
Գերազանց ջերմահաղորդականություն.Դրա ջերմահաղորդականությունը տասնյակ անգամ ավելի մեծ է, քան քվարցինը, ինչը հնարավորություն է տալիս վառարանի ջերմաստիճանի ավելի արագ և ավելի միատարր բաշխման, ինչպես նաև բարելավել գործընթացի միատարրությունն ու կրկնելիությունը: Սա հատկապես կարևոր է մեծ մակերեսով, բազմաթիթեղային մշակման համար (օրինակ՝ ֆոտովոլտային դիֆուզիոն վառարաններ և MOCVD ռեակտորներ):
Չափսերի կայունություն՝Ջերմային ընդարձակման չափազանց ցածր գործակիցը ապահովում է վառարանի խողովակի բարձր կայուն երկրաչափությունը նույնիսկ կրկնակի և կտրուկ ջերմաստիճանային տատանումների դեպքում՝ կանխելով ջերմային ընդարձակման և կծկման հետևանքով առաջացած լարման կուտակումը կամ կնքման խափանումը։
Երկարակեցություն:Դրա բարձր կարծրությունն ու ամրությունը վառարանի խողովակին հաղորդում են գերազանց մեխանիկական հատկություններ, ինչը այն դարձնում է դիմացկուն դեֆորմացիայի և վնասման նկատմամբ։