צינור כור סיליקון קרביד

צינור כור סיליקון קרביד
סיליקון קרביד בעל טוהר גבוהצינור כור SiCהוא רכיב קריטי לטמפרטורה גבוהה העשוי מסיליקון קרביד (SiC) בעל טוהר גבוה במיוחד, שתוכנן במיוחד עבור סביבות תהליך תובעניות כגון מוליכים למחצה ופוטו-וולטאיות. תוך מינוף היתרונות הטבועים של סיליקון קרביד (עמידות בטמפרטורה גבוהה, עמידות בפני קורוזיה ומוליכות תרמית גבוהה), הם הפכו למוצר מתכלה מרכזי בייצור מתקדם, ומחליפים צינורות קוורץ או מתכת מסורתיים.
VET Energy מתמחה בתכנון וייצור של צינורות סיליקון קרביד (SiC) עבור יישומי מוליכים למחצה בטמפרטורה גבוהה וקורוזיביים. עם מתקני ייצור מתקדמים.
וטכנולוגיות CVD וסינטור קנייניות, אנו מספקים צינורות בעלי יציבות תרמית מעולה, עמידות בפני חמצון וחיי שירות ארוכים.

יתרונות צינורות ה-SiC של VET Energy:

טוהר גבוה במיוחד:מיוצר באמצעות תהליך סינטור מיוחד, זיהומים מזיקים של מתכת (כגון Na, K, Fe ו-Al) מופחתים לרמת ppb.
פליטת גזים נמוכה במיוחד:בסביבות של טמפרטורה גבוהה וואקום גבוה, פליטת גזים נמוכה בהרבה מזו של קוורץ, מה שמונע ביעילות זיהום בתא התהליך, מבטיח את האיכות הפנימית של שכבות דקות שהופקדו או צמיחת גבישים, ומשפר משמעותית את תפוקת המוצר (קריטי במיוחד לאפיטקסיה של SiC, צמיחת GaN וייצור סיליקון יחיד-גבישי מתקדם).
יציבות בטמפרטורה גבוהה:טמפרטורות הפעלה ארוכות טווח העולות על 1600 מעלות צלזיוס (הרבה מעל נקודת הריכוך של קוורץ, כ-1200 מעלות צלזיוס) אפשריות, וטמפרטורות קצרות טווח יכולות לעמוד בטמפרטורות גבוהות אף יותר (כגון 1800 מעלות צלזיוס), ובכך לעמוד בדרישות הטמפרטורה הגבוהות במיוחד של מוליכים למחצה ותהליכי גידול גבישים מהדור השלישי.
עמידות בפני קורוזיה כימית:עמיד במיוחד בפני גזים קורוזיביים במיוחד כגון HCl, Cl₂ ו-HF, כמו גם סיליקון מותך ואדי מתכת, תוך שמירה על שלמות מבנית וגימור פני השטח באטמוספרות מורכבות כגון CVD, דיפוזיה, חמצון ואכילה, עם אורך חיים העולה בהרבה על זה של צינורות תנור קוורץ.
מוליכות תרמית מעולה:מוליכות התרמית שלו גדולה עשרות מונים מזו של קוורץ, מה שמאפשר פיזור טמפרטורות מהיר ואחיד יותר בתנור ומשפר את אחידות התהליך ואת יכולת החזרה שלו. זה קריטי במיוחד לעיבוד ופלים מרובי שטחים גדולים (למשל, תנורי דיפוזיה פוטו-וולטאיים וכורי MOCVD).
יציבות ממדית:מקדם ההתפשטות התרמית הנמוך במיוחד שלו מבטיח שצינור התנור ישמור על גיאומטריה יציבה ביותר גם כאשר הוא נתון לתנודות טמפרטורה חוזרות ונשנות ודרסטיות, ובכך מונע כשל אטם או ריכוז מתח הנגרם כתוצאה מהתפשטות והתכווצות תרמית.
עֲמִידוּת:קשיותו וחוזקו הגבוהים מעניקים לצינור התנור תכונות מכניות מצוינות, מה שהופך אותו לעמיד בפני עיוות ונזק.