Cev za peč iz silicijevega karbida Reaktorska cev SiC

Cev za peč iz silicijevega karbida Reaktorska cev SiC
Visoko čist silicijev karbidSiC reaktorska cevje kritična visokotemperaturna komponenta, izdelana iz ultra čistega silicijevega karbida (SiC), posebej zasnovana za zahtevna procesna okolja, kot so polprevodniki in fotovoltaika. Z izkoriščanjem inherentnih prednosti silicijevega karbida (odpornost na visoke temperature, odpornost proti koroziji in visoka toplotna prevodnost) so postali osrednji potrošni material v napredni proizvodnji in so nadomestili tradicionalne kremenčeve ali kovinske cevi.
VET Energy je specializirano podjetje za načrtovanje in proizvodnjo silicijevega karbida (SiC) za visokotemperaturne in korozivne polprevodniške aplikacije. Z naprednimi proizvodnimi obrati.
in lastniških tehnologij CVD in sintranja, dobavljamo cevi, ki se odlikujejo po odlični toplotni stabilnosti, odpornosti proti oksidaciji in dolgi življenjski dobi.

Prednosti SiC cevi VET Energy:

Ultra visoka čistost:Pri izdelavi s posebnim postopkom sintranja se škodljive kovinske nečistoče (kot so Na, K, Fe in Al) zmanjšajo na raven ppb.
Izjemno nizko odplinjevanje:V okoljih z visoko temperaturo in visokim vakuumom je odplinjevanje veliko manjše kot pri kremenu, kar učinkovito preprečuje kontaminacijo procesne komore, zagotavlja intrinzično kakovost nanesenih tankih filmov ali rasti kristalov ter znatno izboljšuje izkoristek produkta (še posebej pomembno za epitaksijo SiC, rast GaN in proizvodnjo visokokakovostnega monokristalnega silicija).
Visokotemperaturna stabilnost:Dolgoročne obratovalne temperature, ki presegajo 1600 °C (precej nad zmehčiščem kremena, približno 1200 °C), so možne, kratkotrajne temperature pa lahko prenesejo še višje temperature (kot je 1800 °C), kar izpolnjuje zahteve glede ultra visokih temperatur polprevodnikov tretje generacije in procesov rasti kristalov.
Kemična odpornost proti koroziji:Visoka odpornost na zelo korozivne pline, kot so HCl, Cl₂ in HF, ter na staljeni silicij in kovinske hlape, ohranja strukturno celovitost in površinsko obdelavo v kompleksnih atmosferah, kot so CVD, difuzija, oksidacija in jedkanje, z življenjsko dobo, ki daleč presega življenjsko dobo kremenčevih cevi.
Odlična toplotna prevodnost:Njegova toplotna prevodnost je več desetkrat večja od toplotne prevodnosti kremena, kar omogoča hitrejšo in enakomernejšo porazdelitev temperature peči ter izboljšuje enakomernost in ponovljivost procesa. To je še posebej pomembno za obdelavo več rezin z veliko površino (npr. fotovoltaične difuzijske peči in MOCVD reaktorji).
Dimenzijska stabilnost:Izjemno nizek koeficient toplotnega raztezanja zagotavlja, da cev peči ohranja zelo stabilno geometrijo tudi pri ponavljajočih se in drastičnih temperaturnih nihanjih, kar preprečuje odpoved tesnila ali koncentracijo napetosti zaradi toplotnega raztezanja in krčenja.
Vzdržljivost:Visoka trdota in trdnost dajeta cevi peči odlične mehanske lastnosti, zaradi česar je odporna na deformacije in poškodbe.