ท่อเตาเผาซิลิคอนคาร์ไบด์ ท่อเครื่องปฏิกรณ์ SiC

ท่อเตาเผาซิลิคอนคาร์ไบด์ ท่อเครื่องปฏิกรณ์ SiC
ซิลิคอนคาร์ไบด์ความบริสุทธิ์สูงท่อปฏิกรณ์ SiCเป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้งานได้ในอุณหภูมิสูง ผลิตจากซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูงมาก ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับสภาพแวดล้อมการทำงานที่ต้องการความทนทานสูง เช่น ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ ด้วยคุณสมบัติเด่นของซิลิคอนคาร์ไบด์ (ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน และนำความร้อนได้ดี) ทำให้ท่อนาโนคาร์บอนกลายเป็นวัสดุสิ้นเปลืองหลักในการผลิตขั้นสูง แทนที่ท่อควอตซ์หรือท่อโลหะแบบดั้งเดิม
VET Energy เชี่ยวชาญด้านการออกแบบและการผลิตท่อซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) สำหรับการใช้งานในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อน ด้วยโรงงานผลิตที่ทันสมัย
ด้วยเทคโนโลยี CVD และการเผาผนึกที่เป็นกรรมสิทธิ์ของเรา เราจึงสามารถผลิตท่อที่มีเสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยม ทนต่อการเกิดออกซิเดชัน และมีอายุการใช้งานยาวนาน

ข้อดีของท่อ SiC จาก VET Energy:

ความบริสุทธิ์สูงพิเศษ:ผลิตโดยใช้กระบวนการเผาผนึกแบบพิเศษ ซึ่งช่วยลดสิ่งเจือปนโลหะที่เป็นอันตราย (เช่น โซเดียม โพแทสเซียม เหล็ก และอะลูมิเนียม) ให้เหลือในระดับ ppb
ปล่อยก๊าซน้อยมาก:ภายใต้สภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและสุญญากาศสูง การปล่อยก๊าซจะต่ำกว่าควอตซ์มาก ซึ่งช่วยป้องกันการปนเปื้อนในห้องกระบวนการได้อย่างมีประสิทธิภาพ รักษาคุณภาพที่แท้จริงของฟิล์มบางที่เคลือบหรือการเติบโตของผลึก และช่วยเพิ่มผลผลิตของผลิตภัณฑ์ได้อย่างมาก (โดยเฉพาะอย่างยิ่งมีความสำคัญต่อการปลูกผลึก SiC, การเติบโตของ GaN และการผลิตซิลิคอนผลึกเดี่ยวระดับสูง)
เสถียรภาพที่อุณหภูมิสูง:สามารถใช้งานต่อเนื่องได้ที่อุณหภูมิเกิน 1600°C (สูงกว่าจุดอ่อนตัวของควอตซ์ซึ่งอยู่ที่ประมาณ 1200°C) และในระยะสั้นสามารถทนต่ออุณหภูมิที่สูงกว่านั้นได้ (เช่น 1800°C) ซึ่งตรงตามข้อกำหนดด้านอุณหภูมิสูงพิเศษของเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สามและกระบวนการเจริญเติบโตของผลึก
ความต้านทานต่อการกัดกร่อนทางเคมี:มีความทนทานสูงต่อก๊าซกัดกร่อนสูง เช่น HCl, Cl₂ และ HF รวมถึงซิลิคอนหลอมเหลวและไอโลหะ รักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างและพื้นผิวในบรรยากาศที่ซับซ้อน เช่น CVD, การแพร่, การออกซิเดชัน และการกัดกร่อน โดยมีอายุการใช้งานยาวนานกว่าท่อเตาหลอมควอตซ์มาก
การนำความร้อนดีเยี่ยม:ค่าการนำความร้อนของวัสดุนี้สูงกว่าควอตซ์หลายสิบเท่า ทำให้สามารถกระจายอุณหภูมิในเตาเผาได้รวดเร็วและสม่ำเสมอยิ่งขึ้น และปรับปรุงความสม่ำเสมอและความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการ ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับการประมวลผลพื้นที่ขนาดใหญ่และแผ่นเวเฟอร์หลายแผ่น (เช่น เตาเผาแบบแพร่กระจายสำหรับเซลล์แสงอาทิตย์และเครื่องปฏิกรณ์ MOCVD)
ความเสถียรของมิติ:ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนที่ต่ำมากของท่อเตาเผา ช่วยให้ท่อรักษารูปทรงเรขาคณิตที่เสถียรสูง แม้จะเผชิญกับการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรุนแรงและซ้ำๆ ซึ่งป้องกันการรั่วซึมหรือการกระจุกตัวของความเค้นที่เกิดจากการขยายตัวและการหดตัวจากความร้อน
ความทนทาน:ความแข็งและความแข็งแรงสูงทำให้ท่อเตาหลอมมีคุณสมบัติทางกลที่ดีเยี่ยม ทนทานต่อการเสียรูปและความเสียหาย