لوله کوره کاربید سیلیکون، لوله راکتور SiC

لوله کوره کاربید سیلیکون، لوله راکتور SiC
کاربید سیلیکون با خلوص بالالوله راکتور SiCیک قطعه حیاتی در دمای بالا است که از کاربید سیلیکون (SiC) با خلوص فوق العاده بالا ساخته شده و به طور خاص برای محیط‌های فرآیندی دشوار مانند نیمه هادی‌ها و فتوولتائیک‌ها طراحی شده است. با بهره‌گیری از مزایای ذاتی کاربید سیلیکون (مقاومت در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی و رسانایی حرارتی بالا)، آنها به یک هسته مصرفی در تولید پیشرفته تبدیل شده‌اند و جایگزین لوله‌های کوارتز یا فلزی سنتی شده‌اند.
شرکت VET Energy متخصص در طراحی و ساخت لوله‌های کاربید سیلیکون (SiC) برای کاربردهای نیمه‌هادی در دمای بالا و خورنده است. با امکانات تولید پیشرفته
و با استفاده از فناوری‌های اختصاصی CVD و زینترینگ، ما لوله‌هایی ارائه می‌دهیم که دارای پایداری حرارتی عالی، مقاومت در برابر اکسیداسیون و عمر طولانی هستند.

مزایای تیوب‌های SiC شرکت VET Energy:

خلوص فوق العاده بالا:با استفاده از یک فرآیند پخت ویژه، ناخالصی‌های فلزی مضر (مانند Na، K، Fe و Al) تا سطح ppb کاهش می‌یابند.
انتشار گاز بسیار کم:در محیط‌های با دمای بالا و خلاء بالا، خروج گاز بسیار کمتر از کوارتز است که به طور مؤثر از آلودگی محفظه فرآیند جلوگیری می‌کند، کیفیت ذاتی لایه‌های نازک رسوب‌شده یا رشد کریستال را تضمین می‌کند و بازده محصول را به طور قابل توجهی بهبود می‌بخشد (به ویژه برای اپیتاکسی SiC، رشد GaN و تولید سیلیکون تک کریستالی پیشرفته بسیار مهم است).
پایداری در دمای بالا:دمای عملیاتی طولانی مدت بیش از 1600 درجه سانتیگراد (بسیار بالاتر از نقطه نرم شدن کوارتز، تقریباً 1200 درجه سانتیگراد) امکان‌پذیر است، و دماهای کوتاه مدت می‌توانند حتی دماهای بالاتر (مانند 1800 درجه سانتیگراد) را نیز تحمل کنند و الزامات دمای فوق العاده بالای نیمه هادی‌های نسل سوم و فرآیندهای رشد کریستال را برآورده سازند.
مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی:مقاومت بسیار بالا در برابر گازهای بسیار خورنده مانند HCl، Cl₂ و HF و همچنین سیلیکون مذاب و بخار فلز، حفظ یکپارچگی ساختاری و سطح نهایی در اتمسفرهای پیچیده مانند CVD، انتشار، اکسیداسیون و اچینگ، با طول عمری بسیار بیشتر از لوله‌های کوره کوارتز.
رسانایی حرارتی عالی:رسانایی حرارتی آن ده‌ها برابر بیشتر از کوارتز است که توزیع دمای کوره را سریع‌تر و یکنواخت‌تر کرده و یکنواختی و تکرارپذیری فرآیند را بهبود می‌بخشد. این امر به ویژه برای پردازش چند ویفری با مساحت بزرگ (به عنوان مثال، کوره‌های انتشار فتوولتائیک و راکتورهای MOCVD) بسیار مهم است.
پایداری ابعادی:ضریب انبساط حرارتی بسیار پایین آن تضمین می‌کند که لوله کوره حتی در معرض نوسانات مکرر و شدید دما، هندسه بسیار پایداری را حفظ کند و از خرابی آب‌بندی یا تمرکز تنش ناشی از انبساط و انقباض حرارتی جلوگیری کند.
دوام:سختی و استحکام بالای آن به لوله کوره خواص مکانیکی عالی می‌دهد و آن را در برابر تغییر شکل و آسیب مقاوم می‌کند.