Tiub Relau Silikon Karbida Tiub Reaktor SiC

Tiub Relau Silikon Karbida Tiub Reaktor SiC
Karbida silikon ketulenan tinggiTiub reaktor SiCmerupakan komponen suhu tinggi kritikal yang diperbuat daripada silikon karbida (SiC) berketulenan ultra tinggi, yang direka khusus untuk persekitaran proses yang mencabar seperti semikonduktor dan fotovoltaik. Dengan memanfaatkan kelebihan silikon karbida yang wujud (rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan dan kekonduksian terma yang tinggi), ia telah menjadi bahan habis pakai teras dalam pembuatan termaju, menggantikan tiub kuarza atau logam tradisional.
VET Energy pakar dalam reka bentuk dan pembuatan tiub silikon karbida (SiC) untuk aplikasi semikonduktor suhu tinggi dan menghakis. Dengan kemudahan pengeluaran canggih.
dan teknologi CVD dan pensinteran proprietari, kami menghasilkan tiub yang mempunyai kestabilan terma yang sangat baik, rintangan pengoksidaan dan hayat perkhidmatan yang panjang.

Kelebihan tiub SiC VET Energy:

Ketulenan Ultra Tinggi:Dihasilkan menggunakan proses pensinteran khas, bendasing logam berbahaya (seperti Na, K, Fe dan Al) dikurangkan ke tahap ppb.
Pengeluaran Gas yang Sangat Rendah:Di bawah persekitaran suhu tinggi dan vakum tinggi, pengeluaran gas jauh lebih rendah berbanding kuarza, berkesan mencegah pencemaran ruang proses, memastikan kualiti intrinsik filem nipis yang termendap atau pertumbuhan kristal, dan meningkatkan hasil produk dengan ketara (amat penting untuk epitaksi SiC, pertumbuhan GaN dan pengeluaran silikon kristal tunggal mewah).
Kestabilan Suhu Tinggi:Suhu operasi jangka panjang melebihi 1600°C (jauh melebihi takat pelembutan kuarza, kira-kira 1200°C) adalah mungkin, dan suhu jangka pendek boleh menahan suhu yang lebih tinggi (seperti 1800°C), memenuhi keperluan suhu ultra tinggi bagi semikonduktor generasi ketiga dan proses pertumbuhan kristal.
Rintangan Kakisan Kimia:Sangat tahan terhadap gas yang sangat menghakis seperti HCl, Cl₂ dan HF, serta silikon cair dan wap logam, mengekalkan integriti struktur dan kemasan permukaan dalam atmosfera kompleks seperti CVD, resapan, pengoksidaan dan pengetsaan, dengan jangka hayat yang jauh melebihi tiub relau kuarza.
Kekonduksian Terma yang Cemerlang:Kekonduksian termanya berpuluh-puluh kali ganda lebih besar daripada kuarza, membolehkan pengagihan suhu relau yang lebih pantas dan seragam serta meningkatkan keseragaman dan kebolehulangan proses. Ini amat penting untuk pemprosesan berbilang wafer kawasan besar (contohnya, relau resapan fotovoltaik dan reaktor MOCVD).
Kestabilan Dimensi:Pekali pengembangan habanya yang sangat rendah memastikan tiub relau mengekalkan geometri yang sangat stabil walaupun tertakluk kepada turun naik suhu yang berulang dan drastik, mencegah kegagalan pengedap atau kepekatan tegasan yang disebabkan oleh pengembangan dan pengecutan haba.
Ketahanan:Kekerasan dan kekuatannya yang tinggi memberikan tiub relau sifat mekanikal yang sangat baik, menjadikannya tahan terhadap ubah bentuk dan kerosakan.