Трубка печи из карбида кремния, трубка реактора из карбида кремния

Трубка печи из карбида кремния, трубка реактора из карбида кремния
Высокочистый карбид кремнияРеакторная трубка из карбида кремнияЭто критически важный высокотемпературный компонент, изготовленный из карбида кремния (SiC) сверхвысокой чистоты, специально разработанный для сложных технологических процессов, таких как производство полупроводников и фотоэлектрических элементов. Благодаря присущим карбиду кремния преимуществам (высокая термостойкость, коррозионная стойкость и высокая теплопроводность), они стали основным расходным материалом в передовом производстве, заменив традиционные кварцевые или металлические трубки.
Компания VET Energy специализируется на проектировании и производстве трубок из карбида кремния (SiC) для высокотемпературных и коррозионно-активных полупроводниковых применений. Благодаря современным производственным мощностям, компания располагает
Благодаря использованию собственных технологий CVD и спекания, мы поставляем трубы, отличающиеся превосходной термической стабильностью, стойкостью к окислению и длительным сроком службы.

Преимущества SiC-трубок от VET Energy:

Сверхвысокая чистота:Благодаря использованию специального процесса спекания, содержание вредных металлических примесей (таких как Na, K, Fe и Al) снижается до уровня частей на миллиард (ppb).
Чрезвычайно низкий уровень выделения газов:В условиях высоких температур и высокого вакуума выделение газов значительно ниже, чем у кварца, что эффективно предотвращает загрязнение технологической камеры, обеспечивает сохранение качества осаждаемых тонких пленок или роста кристаллов и значительно повышает выход продукции (что особенно важно для эпитаксии SiC, выращивания GaN и производства высококачественного монокристаллического кремния).
Высокотемпературная стабильность:Возможна длительная работа при температурах, превышающих 1600°C (значительно выше точки размягчения кварца, приблизительно 1200°C), а также кратковременная работа при еще более высоких температурах (например, 1800°C), что соответствует сверхвысокотемпературным требованиям полупроводников третьего поколения и процессов выращивания кристаллов.
Стойкость к химической коррозии:Обладает высокой устойчивостью к сильно коррозионным газам, таким как HCl, Cl₂ и HF, а также к расплавленному кремнию и парам металлов, сохраняя структурную целостность и качество поверхности в сложных средах, таких как CVD, диффузия, окисление и травление, и имеет срок службы, значительно превышающий срок службы кварцевых печных труб.
Отличная теплопроводность:Его теплопроводность в десятки раз выше, чем у кварца, что обеспечивает более быстрое и равномерное распределение температуры в печи, а также повышает однородность и воспроизводимость процесса. Это особенно важно для обработки больших площадей и нескольких пластин (например, в фотоэлектрических диффузионных печах и реакторах MOCVD).
Размерная стабильность:Чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения обеспечивает сохранение высокой стабильности геометрии печной трубы даже при многократных и резких колебаниях температуры, предотвращая разрушение уплотнений или концентрацию напряжений, вызванную тепловым расширением и сжатием.
Долговечность:Высокая твердость и прочность придают печной трубе превосходные механические свойства, делая ее устойчивой к деформации и повреждениям.