Silizio Karburozko Labeko Hodia SiC Erreaktore Hodia

Silizio Karburozko Labeko Hodia SiC Erreaktore Hodia
Silizio karburo puruaSiC erreaktore hodiasilizio karburo (SiC) ultra-purutasunez egindako tenperatura altuko osagai kritikoa da, erdieroaleen eta fotovoltaikoaren bezalako prozesu-ingurune zorrotzetarako bereziki diseinatua. Silizio karburoaren berezko abantailak (tenperatura altuko erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia eta eroankortasun termiko handia) aprobetxatuz, fabrikazio aurreratuaren oinarrizko kontsumigarri bihurtu dira, kuartzozko edo metalezko hodi tradizionalak ordezkatuz.
VET Energy silizio karburozko (SiC) hodien diseinuan eta fabrikazioan espezializatuta dago, tenperatura altuko eta korrosiboko erdieroaleen aplikazioetarako. Ekoizpen instalazio aurreratuak ditu.
eta CVD eta sinterizazio teknologia jabedunei esker, egonkortasun termiko bikaina, oxidazio-erresistentzia eta zerbitzu-bizitza luzea duten hodiak eskaintzen ditugu.

VET Energy-ren SiC hodien abantailak:

Ultra-Purutasun Handia:Sinterizazio prozesu berezi bat erabiliz ekoiztua, metalezko ezpurutasun kaltegarriak (Na, K, Fe eta Al bezalakoak) ppb mailara murrizten dira.
Gas-isurketa oso baxua:Tenperatura altuko eta hutseko inguruneetan, gas-isurketa kuartzoarena baino askoz txikiagoa da, prozesu-ganberaren kutsadura eraginkortasunez eragotziz, metatutako film meheen edo kristalen hazkundearen berezko kalitatea bermatuz eta produktuaren etekina nabarmen hobetuz (bereziki kritikoa SiC epitaxiarako, GaN hazkunderako eta goi-mailako silizio monokristalen ekoizpenerako).
Tenperatura altuko egonkortasuna:1600 °C-tik gorako epe luzeko funtzionamendu-tenperaturak posible dira (kuartzoaren biguntze-puntuaren gainetik, gutxi gorabehera 1200 °C), eta epe laburreko tenperaturek tenperatura are altuagoak jasan ditzakete (1800 °C-koa, esaterako), hirugarren belaunaldiko erdieroaleen eta kristalen hazkuntza-prozesuen tenperatura ultra-altuen eskakizunak betez.
Korrosio kimikoarekiko erresistentzia:HCl, Cl₂ eta HF bezalako gas oso korrosiboen aurrean, baita silizio urtu eta metal lurrunaren aurrean ere, egitura-osotasuna eta gainazaleko akabera mantenduz CVD, difusioa, oxidazioa eta grabatzea bezalako atmosfera konplexuetan, eta kuartzozko labe-hodien iraupena baino askoz handiagoa du.
Eroankortasun termiko bikaina:Bere eroankortasun termikoa kuartzoarena baino dozenaka aldiz handiagoa da, labearen tenperaturaren banaketa azkarragoa eta uniformeagoa ahalbidetuz eta prozesuaren uniformetasuna eta errepikagarritasuna hobetuz. Hau bereziki kritikoa da eremu handiko eta oblea anitzeko prozesamendurako (adibidez, difusio fotovoltaikoko labeak eta MOCVD erreaktoreak).
Dimentsio-egonkortasuna:Bere hedapen termiko koefiziente oso baxuak labearen hodiak geometria oso egonkorra mantentzen du tenperatura gorabehera errepikatu eta bortitzen menpean egon arren, zigiluaren haustura edo hedapen eta uzkurdura termikoek eragindako tentsio-kontzentrazioa saihestuz.
Iraunkortasuna:Gogortasun eta erresistentzia handiak labe-hodiari propietate mekaniko bikainak ematen dizkio, deformazioarekiko eta kalteekiko erresistente bihurtuz.