Трубка для печы з карбіду крэмнію, трубка для рэактара з карбіду крэмнію

Трубка для печы з карбіду крэмнію, трубка для рэактара з карбіду крэмнію
Высокачысты карбід крэмніюSiC рэактарная трубка— гэта крытычна важны высокатэмпературны кампанент, выраблены з карбіду крэмнію (SiC) звышвысокай чысціні, спецыяльна распрацаваны для складаных працэсных асяроддзяў, такіх як паўправаднікі і фотаэлектрыка. Выкарыстоўваючы ўласцівыя перавагі карбіду крэмнію (высокатэмпературная ўстойлівасць, каразійная ўстойлівасць і высокая цеплаправоднасць), яны сталі асноўным расходным матэрыялам у перадавой вытворчасці, замяніўшы традыцыйныя кварцавыя або металічныя трубкі.
VET Energy спецыялізуецца на распрацоўцы і вытворчасці карбідкрэмніевых (SiC) трубак для высокатэмпературных і агрэсіўных паўправадніковых прымяненняў. Валодае сучаснымі вытворчымі магутнасцямі.
і запатэнтаваных тэхналогій CVD і спякання, мы пастаўляем трубы, якія адрозніваюцца выдатнай тэрмічнай стабільнасцю, устойлівасцю да акіслення і працяглым тэрмінам службы.

Перавагі SiC-труб VET Energy:

Звышвысокая чысціня:Вырабляецца з выкарыстаннем спецыяльнага працэсу спякання, у якім шкодныя металічныя прымешкі (напрыклад, Na, K, Fe і Al) зніжаюцца да ўзроўню ppb.
Вельмі нізкае газааддзяленне:Ва ўмовах высокай тэмпературы і высокага вакууму дэгазацыя значна ніжэйшая, чым у кварца, што эфектыўна прадухіляе забруджванне тэхналагічнай камеры, забяспечвае ўласную якасць напыленых тонкіх плёнак або росту крышталяў і значна паляпшае выхад прадукту (асабліва важна для эпітаксіі SiC, росту GaN і вытворчасці высакаякаснага монакрышталічнага крэмнію).
Высокатэмпературная стабільнасць:Магчымыя працяглыя эксплуатацыйныя тэмпературы, якія перавышаюць 1600°C (значна вышэй за тэмпературу размякчэння кварца, прыблізна 1200°C), а кароткачасовыя тэмпературы могуць вытрымліваць яшчэ больш высокія тэмпературы (напрыклад, 1800°C), што адпавядае патрабаванням да звышвысокіх тэмператур паўправаднікоў трэцяга пакалення і працэсаў вырошчвання крышталяў.
Хімічная ўстойлівасць да карозіі:Высокая ўстойлівасць да ўздзеяння высокаагрэсіўных газаў, такіх як HCl, Cl₂ і HF, а таксама расплаўленага крэмнію і металічных пароў, што дазваляе захоўваць структурную цэласнасць і аздабленне паверхні ў складаных асяроддзях, такіх як CVD, дыфузія, акісленне і травленне, пры гэтым тэрмін службы значна перавышае тэрмін службы кварцавых печных трубак.
Выдатная цеплаправоднасць:Яго цеплаправоднасць у дзясяткі разоў вышэйшая, чым у кварца, што дазваляе хутчэй і больш раўнамерна размеркаваць тэмпературу ў печы і паляпшае аднастайнасць і паўтаральнасць працэсу. Гэта асабліва важна для апрацоўкі вялікай плошчы некалькіх пласцін (напрыклад, фотаэлектрычных дыфузійных печаў і рэактараў MOCVD).
Стабільнасць памераў:Вельмі нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння забяспечвае стабільную геаметрыю трубы печы нават пры паўторных і рэзкіх ваганнях тэмпературы, прадухіляючы пашкоджанне ўшчыльнення або канцэнтрацыю напружанняў, выкліканую цеплавым пашырэннем і сцісканнем.
Трываласць:Высокая цвёрдасць і трываласць надаюць печнай трубе выдатныя механічныя ўласцівасці, што робіць яе ўстойлівай да дэфармацыі і пашкоджанняў.