Кремний карбид мешинин түтүгү SiC реакторунун түтүгү

Кремний карбид мешинин түтүгү SiC реакторунун түтүгү
Жогорку тазалыктагы кремний карбидиSiC реактор түтүгүөтө жогорку тазалыктагы кремний карбидинен (SiC) жасалган, жарым өткөргүчтөр жана фотоэлектрдик системалар сыяктуу талаптуу технологиялык чөйрөлөр үчүн атайын иштелип чыккан маанилүү жогорку температуралуу компонент. Кремний карбидинин ички артыкчылыктарын (жогорку температурага туруктуулук, коррозияга туруктуулук жана жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү) колдонуп, алар салттуу кварц же металл түтүктөрдү алмаштырып, өнүккөн өндүрүштө негизги керектелүүчү буюмга айланды.
VET Energy жогорку температурадагы жана коррозияга каршы жарым өткөргүч колдонмолор үчүн кремний карбид (SiC) түтүкчөлөрүн долбоорлоого жана өндүрүүгө адистешкен. Өркүндөтүлгөн өндүрүштүк кубаттуулуктары менен.
жана менчик CVD жана бышыруу технологиялары менен биз эң сонун жылуулук туруктуулугуна, кычкылданууга туруктуулугуна жана узак кызмат мөөнөтүнө ээ түтүктөрдү жеткиребиз.

VET Energy компаниясынын SiC түтүктөрүнүн артыкчылыктары:

Өтө жогорку тазалык:Атайын бышыруу процесси аркылуу өндүрүлгөн зыяндуу металл кошулмалары (мисалы, Na, K, Fe жана Al) ppb деңгээлине чейин төмөндөйт.
Өтө аз газ бөлүнүп чыгуусу:Жогорку температурадагы, жогорку вакуумдук чөйрөлөрдө газдан арылуу кварцка караганда бир топ төмөн, бул процесстик камеранын булганышынын алдын алат, чөкмө жука пленкалардын же кристаллдардын өсүшүнүн ички сапатын камсыздайт жана продукциянын чыгышын бир топ жакшыртат (айрыкча SiC эпитаксиясы, GaN өсүшү жана жогорку класстагы монокристаллдык кремний өндүрүү үчүн маанилүү).
Жогорку температурадагы туруктуулук:Узак мөөнөттүү иштөө температурасы 1600°C ашышы мүмкүн (кварцтын жумшаруу температурасынан бир топ жогору, болжол менен 1200°C), ал эми кыска мөөнөттүү температура андан да жогорку температурага (мисалы, 1800°C) туруштук бере алат, бул үчүнчү муундагы жарым өткөргүчтөрдүн жана кристалл өстүрүү процесстеринин өтө жогорку температура талаптарын канааттандырат.
Химиялык коррозияга туруктуулук:HCl, Cl₂ жана HF сыяктуу жогорку коррозиялык газдарга, ошондой эле эриген кремнийге жана металл буусуна жогорку деңгээлде туруктуу, CVD, диффузия, кычкылдануу жана оюу сыяктуу татаал атмосфераларда структуралык бүтүндүктү жана беттик жасалгалоону сактайт, ошондой эле кварц мешинин түтүктөрүнүн кызмат мөөнөтүн бир топ жогорулатат.
Эң сонун жылуулук өткөрүмдүүлүгү:Анын жылуулук өткөрүмдүүлүгү кварцтыкына караганда ондогон эсе жогору, бул мештин температурасын тезирээк жана бирдей бөлүштүрүүгө мүмкүндүк берет жана процесстин бирдейлигин жана кайталанышын жакшыртат. Бул өзгөчө чоң аянттагы, көп пластиналуу иштетүү үчүн абдан маанилүү (мисалы, фотоэлектрдик диффузиялык мештер жана MOCVD реакторлору).
Өлчөмдүү туруктуулук:Анын жылуулук кеңейүү коэффициенти өтө төмөн болгондуктан, ал меш түтүгүнүн кайталануучу жана кескин температура өзгөрүүлөрүнө дуушар болгондо да жогорку деңгээлде туруктуу геометриясын сактап, жылуулук кеңейүү жана кысылуудан улам пломбанын бузулушуна же стресстин концентрациясына жол бербейт.
Бышыктыгы:Анын жогорку катуулугу жана бекемдиги меш түтүгүнө эң сонун механикалык касиеттерди берет, бул аны деформацияга жана бузулууга туруктуу кылат.