סיליקאָן קאַרבייד אויוון רער SiC רעאַקטאָר רער

סיליקאָן קאַרבייד אויוון רער SiC רעאַקטאָר רער
הויך-ריינקייט סיליקאָן קאַרביידSiC רעאַקטאָר רעראיז אַ קריטישער הויך-טעמפּעראַטור קאָמפּאָנענט געמאַכט פֿון אולטראַ-הויך-ריינקייט סיליקאָן קאַרבייד (SiC), ספּעציעל דיזיינד פֿאַר פֿאָדערנדיקע פּראָצעס סביבות ווי האַלב-קאָנדוקטאָרן און פֿאָטאָוואָלטאַיקס. ניצנדיק די אינהערענטע מעלות פֿון סיליקאָן קאַרבייד (הויך-טעמפּעראַטור קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, און הויך טערמישע קאַנדאַקטיוויטי), זענען זיי געוואָרן אַ קערן קאָנסומאַבלע אין אַוואַנסירטער מאַנופֿאַקטורינג, און פאַרבייטן טראַדיציאָנעלע קוואַרץ אָדער מעטאַל רערן.
VET ענערגיע ספעציאליזירט זיך אין דיזיין און פאבריקאציע פון ​​סיליקאן קארבייד (SiC) רערן פאר הויך-טעמפּעראַטור און קאראזיווע האלב-קאנדוקטאר אפליקאציעס. מיט פארגעשריטענע פראדוקציע פאסיליטיעס.
און פּראַפּרייאַטערי CVD און סינטערינג טעקנאַלאַדזשיז, מיר צושטעלן רערן וואָס שטריך ויסגעצייכנט טערמישע פעסטקייַט, אַקסאַדיישאַן קעגנשטעל, און לאַנג דינסט לעבן.

מעלות פון VET Energy'ס SiC רערן:

אולטרא-הויך ריינקייט:פּראָדוצירט מיט אַ ספּעציעלן סינטערינג פּראָצעס, ווערן שעדלעכע מעטאַל פֿאַרפּעסטיקונגען (ווי Na, K, Fe, און Al) רידוסט צום ppb לעוועל.
גאָר נידעריקע אויסגאַסינג:אונטער הויך-טעמפּעראַטור, הויך-וואַקוום סביבות, איז די אויסגאַסינג פיל נידעריגער ווי ביי קוואַרץ, וואָס פאַרהיט עפעקטיוו קאַנטאַמאַניישאַן פון פּראָצעס קאַמער, ענשורינג די אינטרינסיק קוואַליטעט פון דעפּאַזיטיד דין פילמען אָדער קריסטאַל וווּקס, און באַדייטנד ימפּרוווינג פּראָדוקט טראָגן (ספּעציעל קריטיש פֿאַר SiC עפּיטאַקסי, GaN וווּקס, און הויך-סוף איין-קריסטאַל סיליקאָן פּראָדוקציע).
הויך-טעמפּעראַטור סטאַביליטעט:לאַנג-טערמין אַפּערייטינג טעמפּעראַטורן העכער 1600°C (ווייט העכער דעם ווייכונג פונקט פון קוואַרץ, בעערעך 1200°C) זענען מעגלעך, און קורץ-טערמין טעמפּעראַטורן קענען וויטשטיין אפילו העכערע טעמפּעראַטורן (אַזאַ ווי 1800°C), וואָס טרעפן די גאָר הויך-טעמפּעראַטור באדערפענישן פון דריט-דור האַלב-קאָנדוקטאָרן און קריסטאַל וווּקס פּראָצעסן.
כעמישע קעראָוזשאַן קעגנשטעל:העכסט קעגנשטעליק צו העכסט קעראָזיווע גאַזן ווי HCl, Cl₂, און HF, ווי אויך געשמאָלצן סיליקאָן און מעטאַל פארע, וואָס האַלט די סטרוקטורעלע אָרנטלעכקייט און ייבערפלאַך ענדיקונג אין קאָמפּלעקסע אַטמאָספערעס ווי CVD, דיפוזיע, אָקסידאַציע, און עטשינג, מיט אַ לעבן-שפּאַן וואָס איז פיל לענגער ווי די פון קוואַרץ אויוון רערן.
אויסגעצייכנטע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי:איר טערמישע קאַנדאַקטיוויטי איז דאַזאַנז מאָל גרעסער ווי די פון קוואַרץ, וואָס ערמעגליכט אַ שנעלערע און מער איינהייטלעכע טעמפּעראַטור פאַרשפּרייטונג אין די אויוון און פֿאַרבעסערט פּראָצעס איינהייטלעכקייט און ריפּיטאַביליטי. דאָס איז ספּעציעל קריטיש פֿאַר גרויס-שטח, מולטי-ווייפער פּראַסעסינג (למשל, פאָטאָוואָלטאַיק דיפיוזשאַן אויוון און MOCVD רעאַקטאָרן).
דימענסיאָנעלע סטאַביליטעט:איר גאָר נידעריקע קאָעפיציענט פון טערמישער יקספּאַנשאַן ענשורז אַז די אויוון רער האַלט זייער סטאַביל געאָמעטריע אפילו ווען אונטערטעניק צו ריפּיטיד און דראַסטיק טעמפּעראַטור פלוקטואַציעס, פּרעווענטינג סילינג דורכפאַל אָדער דרוק קאַנסאַנטריישאַן געפֿירט דורך טערמישער יקספּאַנשאַן און קאַנטראַקשאַנז.
האַלטבארקייט:איר הויכע כאַרטקייט און שטאַרקייט געבן דעם אויוון רער אויסגעצייכנטע מעכאַנישע אייגנשאַפטן, מאַכנדיג עס קעגנשטעליק צו דעפאָרמאַציע און שעדיקן.