Ống lò nung cacbua silic (SiC) - Ống phản ứng

Ống lò nung cacbua silic (SiC) - Ống phản ứng
Silicon carbide có độ tinh khiết caoống phản ứng SiCĐây là một linh kiện chịu nhiệt độ cao quan trọng được làm từ cacbua silic (SiC) siêu tinh khiết, được thiết kế đặc biệt cho các môi trường xử lý đòi hỏi khắt khe như chất bán dẫn và quang điện. Tận dụng những ưu điểm vốn có của cacbua silic (khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn và dẫn nhiệt cao), chúng đã trở thành một vật tư tiêu hao cốt lõi trong sản xuất tiên tiến, thay thế các ống thạch anh hoặc kim loại truyền thống.
VET Energy chuyên thiết kế và sản xuất ống silicon carbide (SiC) cho các ứng dụng bán dẫn nhiệt độ cao và ăn mòn. Với các cơ sở sản xuất tiên tiến.
Nhờ các công nghệ CVD và thiêu kết độc quyền, chúng tôi cung cấp các ống có độ ổn định nhiệt tuyệt vời, khả năng chống oxy hóa và tuổi thọ cao.

Ưu điểm của ống SiC của VET Energy:

Độ tinh khiết cực cao:Được sản xuất bằng quy trình thiêu kết đặc biệt, các tạp chất kim loại có hại (như Na, K, Fe và Al) được giảm xuống mức ppb.
Độ thoát khí cực thấp:Trong môi trường nhiệt độ cao, chân không cao, sự thoát khí diễn ra thấp hơn nhiều so với thạch anh, giúp ngăn ngừa hiệu quả sự nhiễm bẩn buồng xử lý, đảm bảo chất lượng vốn có của màng mỏng được lắng đọng hoặc sự phát triển tinh thể, và cải thiện đáng kể năng suất sản phẩm (đặc biệt quan trọng đối với quá trình epitaxy SiC, sự phát triển GaN và sản xuất silicon đơn tinh thể cao cấp).
Độ ổn định ở nhiệt độ cao:Nhiệt độ hoạt động lâu dài vượt quá 1600°C (cao hơn nhiều so với điểm hóa mềm của thạch anh, khoảng 1200°C) là hoàn toàn có thể, và nhiệt độ ngắn hạn thậm chí có thể chịu được nhiệt độ cao hơn (như 1800°C), đáp ứng các yêu cầu về nhiệt độ cực cao của chất bán dẫn thế hệ thứ ba và các quy trình tăng trưởng tinh thể.
Khả năng chống ăn mòn hóa học:Có khả năng chống chịu cao với các khí ăn mòn mạnh như HCl, Cl₂ và HF, cũng như silicon nóng chảy và hơi kim loại, duy trì tính toàn vẹn cấu trúc và độ hoàn thiện bề mặt trong các môi trường phức tạp như CVD, khuếch tán, oxy hóa và khắc, với tuổi thọ vượt xa ống lò nung thạch anh.
Khả năng dẫn nhiệt tuyệt vời:Độ dẫn nhiệt của nó cao hơn hàng chục lần so với thạch anh, cho phép phân bố nhiệt độ lò nhanh hơn và đồng đều hơn, cải thiện tính đồng nhất và khả năng lặp lại của quy trình. Điều này đặc biệt quan trọng đối với quy trình xử lý nhiều tấm wafer trên diện tích lớn (ví dụ: lò khuếch tán quang điện và lò phản ứng MOCVD).
Tính ổn định về kích thước:Hệ số giãn nở nhiệt cực thấp của nó đảm bảo ống lò duy trì hình dạng ổn định cao ngay cả khi chịu sự thay đổi nhiệt độ đột ngột và lặp đi lặp lại, ngăn ngừa hỏng gioăng hoặc tập trung ứng suất do giãn nở và co lại nhiệt.
Độ bền:Độ cứng và độ bền cao mang lại cho ống lò nung các đặc tính cơ học tuyệt vời, giúp nó chống lại sự biến dạng và hư hỏng.