Silicijum-karbidna cijev za peć SiC reaktorska cijev

Silicijum-karbidna cijev za peć SiC reaktorska cijev
Visokočisti silicijev karbidSiC reaktorska cijevje kritična visokotemperaturna komponenta izrađena od silicijevog karbida (SiC) ultra visoke čistoće, posebno dizajnirana za zahtjevna procesna okruženja poput poluvodiča i fotonaponskih sustava. Iskorištavajući inherentne prednosti silicijevog karbida (otpornost na visoke temperature, otpornost na koroziju i visoka toplinska vodljivost), postali su ključni potrošni materijal u naprednoj proizvodnji, zamjenjujući tradicionalne kvarcne ili metalne cijevi.
VET Energy specijaliziran je za dizajn i proizvodnju silicij-karbidnih (SiC) cijevi za visokotemperaturne i korozivne poluvodičke primjene. S naprednim proizvodnim pogonima
i vlasničkim CVD i sinterskim tehnologijama, isporučujemo cijevi koje imaju izvrsnu toplinsku stabilnost, otpornost na oksidaciju i dugi vijek trajanja.

Prednosti SiC cijevi tvrtke VET Energy:

Ultra visoka čistoća:Proizvedeno posebnim postupkom sinteriranja, štetne metalne nečistoće (poput Na, K, Fe i Al) smanjene su na razinu ppb.
Iznimno nisko ispuštanje plinova:U okruženjima visoke temperature i visokog vakuuma, ispuštanje plinova je daleko niže nego kod kvarca, što učinkovito sprječava kontaminaciju procesne komore, osigurava intrinzičnu kvalitetu deponiranih tankih filmova ili rasta kristala i značajno poboljšava prinos proizvoda (posebno kritično za SiC epitaksiju, rast GaN i proizvodnju visokokvalitetnih monokristalnih silicija).
Stabilnost na visokim temperaturama:Dugotrajne radne temperature veće od 1600 °C (znatno iznad točke omekšavanja kvarca, približno 1200 °C) su moguće, a kratkotrajne temperature mogu izdržati još više temperature (kao što je 1800 °C), zadovoljavajući ultra visoke temperaturne zahtjeve poluvodiča treće generacije i procesa rasta kristala.
Otpornost na kemijsku koroziju:Visoko otporan na jako korozivne plinove poput HCl, Cl₂ i HF, kao i na rastaljeni silicij i metalne pare, održavajući strukturni integritet i površinsku obradu u složenim atmosferama poput CVD-a, difuzije, oksidacije i jetkanja, s vijekom trajanja koji daleko premašuje vijek trajanja kvarcnih cijevi peći.
Izvrsna toplinska vodljivost:Njegova toplinska vodljivost je desetke puta veća od one kvarca, što omogućuje bržu i ujednačeniju raspodjelu temperature peći te poboljšava ujednačenost i ponovljivost procesa. To je posebno važno za obradu više pločica velikih površina (npr. fotonaponske difuzijske peći i MOCVD reaktori).
Dimenzijska stabilnost:Njegov izuzetno nizak koeficijent toplinskog širenja osigurava da cijev peći održava vrlo stabilnu geometriju čak i kada je izložena ponovljenim i drastičnim temperaturnim fluktuacijama, sprječavajući pucanje brtve ili koncentraciju naprezanja uzrokovanu toplinskim širenjem i skupljanjem.
Izdržljivost:Visoka tvrdoća i čvrstoća daju cijevi peći izvrsna mehanička svojstva, čineći je otpornom na deformacije i oštećenja.