Silikoni Carbide Furnace Chubu SiC Reactor Chubu

Silikoni Carbide Furnace Chubu SiC Reactor Chubu
Kabide ya silicon yoyera kwambiriChubu cha riyakitala ya SiCndi gawo lofunika kwambiri lotentha kwambiri lopangidwa kuchokera ku silicon carbide (SiC) yoyera kwambiri, yopangidwira makamaka malo ovuta monga ma semiconductors ndi photovoltaics. Pogwiritsa ntchito ubwino wa silicon carbide (kukana kutentha kwambiri, kukana dzimbiri, komanso kutentha kwambiri), akhala ogwiritsidwa ntchito kwambiri popanga zinthu zapamwamba, m'malo mwa machubu achikhalidwe a quartz kapena achitsulo.
VET Energy imagwira ntchito yokonza ndi kupanga machubu a silicon carbide (SiC) kuti agwiritsidwe ntchito pa kutentha kwambiri komanso mowononga. Ili ndi zipangizo zamakono zopangira.
ndi ukadaulo wapadera wa CVD ndi sintering, timapereka machubu omwe ali ndi kukhazikika kwa kutentha, kukana okosijeni, komanso moyo wautali.

Ubwino wa machubu a SiC a VET Energy:

Kuyera Kwambiri:Popangidwa pogwiritsa ntchito njira yapadera yoyeretsera, zinthu zodetsa zitsulo zoopsa (monga Na, K, Fe, ndi Al) zimachepetsedwa kufika pamlingo wa ppb.
Mpweya Wochepa Kwambiri:Pansi pa kutentha kwambiri komanso malo okhala ndi vacuum yambiri, kutulutsa mpweya kumakhala kotsika kwambiri kuposa kwa quartz, zomwe zimateteza bwino kuipitsidwa kwa chipinda chogwirira ntchito, kuonetsetsa kuti mafilimu opyapyala kapena kukula kwa kristalo kumakhala bwino, komanso kukonza bwino zokolola za zinthu (makamaka zofunika kwambiri pa SiC epitaxy, kukula kwa GaN, ndi kupanga silicon ya single-crystal yapamwamba).
Kukhazikika kwa Kutentha Kwambiri:Kutentha kwa nthawi yayitali kogwira ntchito kopitilira 1600°C (pamwamba kwambiri pa malo ofewa a quartz, pafupifupi 1200°C) n'kotheka, ndipo kutentha kwa nthawi yochepa kumatha kupirira kutentha kwakukulu (monga 1800°C), kukwaniritsa zofunikira kutentha kwambiri za semiconductors za m'badwo wachitatu ndi njira zokulira makristalo.
Kukana Kudzikundikira kwa Mankhwala:Yolimba kwambiri ku mpweya wowononga kwambiri monga HCl, Cl₂, ndi HF, komanso silicon yosungunuka ndi nthunzi yachitsulo, imasunga umphumphu wa kapangidwe kake ndi kumalizidwa kwake m'mlengalenga wovuta monga CVD, kufalikira, kukhuthala, ndi kupsa, ndipo imakhala ndi moyo wautali kuposa machubu a ng'anjo ya quartz.
Kutentha Kwambiri Kwambiri:Mphamvu yake yotenthetsera kutentha ndi yayikulu kwambiri kuposa ya quartz, zomwe zimathandiza kuti kutentha kwa ng'anjo kugawidwe mwachangu komanso mofanana komanso kukonza kufanana kwa njira ndi kubwerezabwereza. Izi ndizofunikira kwambiri pakupanga ma wafer ambiri m'malo akuluakulu (monga ma photovoltaic diffusion furnaces ndi ma MOCVD reactors).
Kukhazikika kwa Miyeso:Kuchuluka kwake kochepa kwambiri kwa kutentha kumaonetsetsa kuti chubu cha ng'anjo chimasunga mawonekedwe okhazikika ngakhale kutentha kusinthasintha mobwerezabwereza komanso kwakukulu, kupewa kulephera kwa chisindikizo kapena kupsinjika komwe kumachitika chifukwa cha kukula ndi kupindika kwa kutentha.
Kulimba:Kulimba kwake kwakukulu ndi mphamvu zake zimapatsa chubu cha uvuni mphamvu zabwino kwambiri, zomwe zimapangitsa kuti chikhale cholimba ku kusintha ndi kuwonongeka.