Silikon Karbid Sobası Borusu SiC Reaktor Borusu

Silikon Karbid Sobası Borusu SiC Reaktor Borusu
Yüksək təmizlikli silikon karbidSiC reaktor borusuYarımkeçiricilər və fotovoltaiklər kimi tələbkar proses mühitləri üçün xüsusi olaraq hazırlanmış ultra yüksək təmizlikli silikon karbiddən (SiC) hazırlanmış vacib yüksək temperaturlu komponentdir. Silikon karbidin daxili üstünlüklərindən (yüksək temperatur müqaviməti, korroziyaya davamlılıq və yüksək istilik keçiriciliyi) istifadə edərək, onlar ənənəvi kvars və ya metal boruları əvəz edərək qabaqcıl istehsalda əsas istehlak materialına çevriliblər.
VET Energy, yüksək temperaturlu və korroziyalı yarımkeçirici tətbiqlər üçün silikon karbid (SiC) borularının dizaynı və istehsalında ixtisaslaşıb. Qabaqcıl istehsal imkanlarına malikdir.
və patentləşdirilmiş CVD və sinterləmə texnologiyaları ilə əla istilik stabilliyi, oksidləşmə müqaviməti və uzun xidmət müddəti ilə xarakterizə olunan borular təqdim edirik.

VET Energy şirkətinin SiC borularının üstünlükləri:

Ultra Yüksək Saflıq:Xüsusi sinterləmə prosesi ilə istehsal olunan zərərli metal çirkləri (məsələn, Na, K, Fe və Al) ppb səviyyəsinə qədər azaldılır.
Son dərəcə aşağı qaz çıxışı:Yüksək temperaturlu, yüksək vakuumlu mühitlərdə qazın xaric edilməsi kvarsla müqayisədə daha aşağıdır, bu da proses kamerasının çirklənməsinin qarşısını effektiv şəkildə alır, çökmüş nazik təbəqələrin və ya kristal böyüməsinin daxili keyfiyyətini təmin edir və məhsulun məhsuldarlığını əhəmiyyətli dərəcədə artırır (xüsusilə SiC epitaksisi, GaN böyüməsi və yüksək səviyyəli tək kristal silikon istehsalı üçün vacibdir).
Yüksək Temperatur Sabitliyi:1600°C-dən (kvarsın yumşalma nöqtəsindən xeyli yuxarı, təxminən 1200°C) yuxarı uzunmüddətli işləmə temperaturu mümkündür və qısamüddətli temperaturlar daha yüksək temperaturlara (məsələn, 1800°C) davam gətirə bilər və üçüncü nəsil yarımkeçiricilərin və kristal böyümə proseslərinin ultra yüksək temperatur tələblərini ödəyir.
Kimyəvi Korroziyaya Qarşı Müqavimət:HCl, Cl₂ və HF kimi yüksək korroziyaya uğrayan qazlara, eləcə də əridilmiş silikon və metal buxarına qarşı yüksək dərəcədə davamlıdır, CVD, diffuziya, oksidləşmə və aşındırma kimi mürəkkəb atmosferlərdə struktur bütövlüyünü və səth örtüyünü qoruyur və kvars soba borularının ömrünü xeyli üstələyir.
Əla İstilik Keçiriciliyi:Onun istilik keçiriciliyi kvarsdan onlarla dəfə çoxdur, bu da soba temperaturunun daha sürətli və daha vahid paylanmasına imkan verir və prosesin vahidliyini və təkrarlanmasını yaxşılaşdırır. Bu, xüsusilə geniş sahəli, çoxvaflı emal üçün vacibdir (məsələn, fotovoltaik diffuziya sobaları və MOCVD reaktorları).
Ölçü Sabitliyi:İstilik genişlənməsinin son dərəcə aşağı əmsalı, təkrarlanan və kəskin temperatur dalğalanmalarına məruz qaldıqda belə, soba borusunun yüksək sabit həndəsəsini qorumasını təmin edir və istilik genişlənməsi və büzülməsi nəticəsində yaranan möhürün sıradan çıxmasının və ya stress konsentrasiyasının qarşısını alır.
Davamlılıq:Yüksək sərtliyi və möhkəmliyi soba borusuna əla mexaniki xüsusiyyətlər verir və onu deformasiyaya və zədələnməyə davamlı edir.