სილიკონის კარბიდის ღუმელის მილი SiC რეაქტორის მილი

სილიკონის კარბიდის ღუმელის მილი SiC რეაქტორის მილი
მაღალი სისუფთავის სილიციუმის კარბიდიSiC რეაქტორის მილიწარმოადგენს ულტრამაღალი სისუფთავის სილიციუმის კარბიდისგან (SiC) დამზადებული კრიტიკულად მაღალი ტემპერატურის მქონე კომპონენტს, რომელიც სპეციალურად შექმნილია ისეთი მომთხოვნი ტექნოლოგიური გარემოსთვის, როგორიცაა ნახევარგამტარები და ფოტოელექტრული სისტემები. სილიციუმის კარბიდის თანდაყოლილი უპირატესობების (მაღალი ტემპერატურისადმი მდგრადობა, კოროზიისადმი მდგრადობა და მაღალი თბოგამტარობა) გამოყენებით, ისინი თანამედროვე წარმოებაში ძირითად სახარჯ მასალად იქცნენ და ტრადიციული კვარცის ან ლითონის მილები ჩაანაცვლეს.
VET Energy სპეციალიზირებულია სილიციუმის კარბიდის (SiC) მილების დიზაინსა და წარმოებაში მაღალი ტემპერატურისა და კოროზიული ნახევარგამტარული აპლიკაციებისთვის. თანამედროვე წარმოების საშუალებებით.
და საკუთრების CVD და შედუღების ტექნოლოგიების გამოყენებით, ჩვენ ვთავაზობთ მილებს, რომლებიც ხასიათდება შესანიშნავი თერმული სტაბილურობით, დაჟანგვისადმი მდგრადობით და ხანგრძლივი მომსახურების ხანგრძლივობით.

VET Energy-ის SiC მილების უპირატესობები:

ულტრა მაღალი სისუფთავე:სპეციალური შედუღების პროცესის გამოყენებით წარმოებული, მავნე ლითონის მინარევები (როგორიცაა Na, K, Fe და Al) მცირდება ppb დონემდე.
უკიდურესად დაბალი გამოყოფა:მაღალი ტემპერატურისა და მაღალი ვაკუუმის გარემოში, გამოყოფა გაცილებით დაბალია, ვიდრე კვარცის შემთხვევაში, რაც ეფექტურად უშლის ხელს პროცესის კამერის დაბინძურებას, უზრუნველყოფს დალექილი თხელი ფენების ან კრისტალების ზრდის შინაგან ხარისხს და მნიშვნელოვნად აუმჯობესებს პროდუქტის მოსავლიანობას (განსაკუთრებით კრიტიკული მნიშვნელობა აქვს SiC ეპიტაქსიის, GaN ზრდისა და მაღალი დონის ერთკრისტალური სილიციუმის წარმოებისთვის).
მაღალი ტემპერატურის სტაბილურობა:შესაძლებელია 1600°C-ზე (კვარცის დარბილების წერტილზე გაცილებით მაღალი, დაახლოებით 1200°C) მაღალი ხანგრძლივი სამუშაო ტემპერატურა, ხოლო მოკლევადიან ტემპერატურებს შეუძლიათ გაუძლონ კიდევ უფრო მაღალ ტემპერატურას (მაგალითად, 1800°C), რაც აკმაყოფილებს მესამე თაობის ნახევარგამტარებისა და კრისტალების ზრდის პროცესების ულტრამაღალი ტემპერატურის მოთხოვნებს.
ქიმიური კოროზიისადმი მდგრადობა:მაღალი მდგრადობა ძლიერ კოროზიული აირების, როგორიცაა HCl, Cl₂ და HF, ასევე გამდნარი სილიციუმის და ლითონის ორთქლის მიმართ, ინარჩუნებს სტრუქტურულ მთლიანობას და ზედაპირის დამუშავებას რთულ ატმოსფეროებში, როგორიცაა CVD, დიფუზია, დაჟანგვა და გრავირება, და აქვს კვარცის ღუმელის მილების სიცოცხლის ხანგრძლივობა, რომელიც გაცილებით აღემატება კვარცის ღუმელის მილების სიცოცხლის ხანგრძლივობას.
შესანიშნავი თბოგამტარობა:მისი თბოგამტარობა ათობითჯერ აღემატება კვარცისას, რაც უზრუნველყოფს ღუმელის ტემპერატურის უფრო სწრაფ და ერთგვაროვან განაწილებას და აუმჯობესებს პროცესის ერთგვაროვნებას და განმეორებადობას. ეს განსაკუთრებით მნიშვნელოვანია დიდი ფართობის, მრავალვაფლის დამუშავებისთვის (მაგ., ფოტოელექტრული დიფუზიური ღუმელები და MOCVD რეაქტორები).
განზომილებიანი სტაბილურობა:მისი თერმული გაფართოების უკიდურესად დაბალი კოეფიციენტი უზრუნველყოფს ღუმელის მილის მაღალსტაბილურ გეომეტრიის შენარჩუნებას განმეორებითი და მკვეთრი ტემპერატურის რყევების დროსაც კი, რაც ხელს უშლის თერმული გაფართოებითა და შეკუმშვით გამოწვეულ დალუქვის დაზიანებას ან დაძაბულობის კონცენტრაციას.
გამძლეობა:მისი მაღალი სიმტკიცე და სიმტკიცე ღუმელის მილს შესანიშნავ მექანიკურ თვისებებს ანიჭებს, რაც მას დეფორმაციისა და დაზიანების მიმართ მდგრადს ხდის.