Kísilkarbíð ofnrör SiC hvarfrör

Kísilkarbíð ofnrör SiC hvarfrör
Háhreinleiki kísillkarbíðsSiC hvarfrörer mikilvægur háhitaþáttur úr afar hreinu kísilkarbíði (SiC), sérstaklega hannaður fyrir krefjandi vinnsluumhverfi eins og hálfleiðara og sólarorku. Með því að nýta sér eiginleika kísilkarbíðs (háhitaþol, tæringarþol og mikla varmaleiðni) hafa þeir orðið aðalnotkunarefni í háþróaðri framleiðslu og komið í stað hefðbundinna kvars- eða málmröra.
VET Energy sérhæfir sig í hönnun og framleiðslu á kísilkarbíði (SiC) rörum fyrir háhita- og tæringarhæfar hálfleiðaraforrit. Með háþróaðri framleiðsluaðstöðu
og sérhannaðar CVD og sintrunartækni, afhendum við rör sem eru með framúrskarandi hitastöðugleika, oxunarþol og langan endingartíma.

Kostir SiC röra frá VET Energy:

Mjög mikil hreinleiki:Framleitt með sérstakri sintrunaraðferð eru skaðleg óhreinindi úr málmum (eins og Na, K, Fe og Al) minnkuð niður í ppb-stig.
Mjög lítil útblástur:Við hátt hitastig og hátt lofttæmi er útgasun mun minni en hjá kvarsi, sem kemur í veg fyrir mengun í vinnsluklefanum, tryggir eðlislæga gæði þunnfilma eða kristallavaxtar og bætir verulega afurðaafköst (sérstaklega mikilvægt fyrir SiC-epitaxíu, GaN-vöxt og framleiðslu á hágæða einkristalla kísill).
Stöðugleiki við háan hita:Langtíma rekstrarhitastig yfir 1600°C (vel yfir mýkingarmarki kvars, um það bil 1200°C) er mögulegt og skammtíma hitastig þolir enn hærra hitastig (eins og 1800°C) og uppfyllir þannig kröfur þriðju kynslóðar hálfleiðara og kristallavaxtarferla um afar háan hita.
Þol gegn efnafræðilegri tæringu:Mjög þolið gegn mjög ætandi lofttegundum eins og HCl, Cl₂ og HF, sem og bráðnu kísilli og málmgufu, og viðheldur byggingarheild og yfirborðsáferð í flóknum andrúmsloftum eins og CVD, dreifingu, oxun og etsun, með líftíma sem er langt umfram líftíma kvarsofnröra.
Frábær varmaleiðni:Varmaleiðni þess er tugum sinnum meiri en kvars, sem gerir kleift að dreifa hitastigi í ofni hraðar og jafnari og eykur einsleitni og endurtekningarhæfni ferla. Þetta er sérstaklega mikilvægt fyrir stórar vinnslur með mörgum skífum (t.d. ljósorkuofna og MOCVD hvarfefni).
Stöðugleiki í vídd:Mjög lágur varmaþenslustuðullinn tryggir að ofnrörið viðheldur mjög stöðugri lögun, jafnvel þegar það verður fyrir endurteknum og miklum hitasveiflum, sem kemur í veg fyrir bilun í þéttingu eða spennuþenslu af völdum varmaþenslu og samdráttar.
Ending:Mikil hörku og styrkur ofnrörsins gefa því framúrskarandi vélræna eiginleika, sem gerir það ónæmt fyrir aflögun og skemmdum.