Silicijum karbidna cijev za peć SiC reaktorska cijev

Silicijum karbidna cijev za peć SiC reaktorska cijev
Silicijum karbid visoke čistoćeSiC reaktorska cijevje kritična komponenta otporna na visoke temperature napravljena od silicijum karbida (SiC) ultra visoke čistoće, posebno dizajnirana za zahtjevna procesna okruženja kao što su poluprovodnici i fotonaponski sistemi. Iskorištavajući inherentne prednosti silicijum karbida (otpornost na visoke temperature, otpornost na koroziju i visoka toplotna provodljivost), postali su osnovni potrošni materijal u naprednoj proizvodnji, zamjenjujući tradicionalne kvarcne ili metalne cijevi.
VET Energy je specijaliziran za dizajn i proizvodnju silicijum-karbidnih (SiC) cijevi za visokotemperaturne i korozivne poluprovodničke primjene. Sa naprednim proizvodnim pogonima.
i vlasničkim CVD i sinterskim tehnologijama, isporučujemo cijevi koje se odlikuju odličnom termičkom stabilnošću, otpornošću na oksidaciju i dugim vijekom trajanja.

Prednosti SiC cijevi kompanije VET Energy:

Ultra visoka čistoća:Proizvedeno posebnim postupkom sinterovanja, štetne metalne nečistoće (kao što su Na, K, Fe i Al) smanjene su na nivo ppb.
Izuzetno nisko ispuštanje gasova:U okruženjima visoke temperature i visokog vakuuma, ispuštanje gasova je daleko niže nego kod kvarca, što efikasno sprečava kontaminaciju procesne komore, osigurava suštinski kvalitet deponovanih tankih filmova ili rasta kristala i značajno poboljšava prinos proizvoda (posebno kritično za SiC epitaksiju, rast GaN i proizvodnju visokokvalitetnih monokristalnih silicija).
Stabilnost na visokim temperaturama:Dugotrajne radne temperature koje prelaze 1600°C (znatno iznad tačke omekšavanja kvarca, približno 1200°C) su moguće, a kratkotrajne temperature mogu izdržati čak i više temperature (kao što je 1800°C), ispunjavajući zahtjeve ultra-visokih temperatura poluprovodnika treće generacije i procesa rasta kristala.
Otpornost na hemijsku koroziju:Visoko otporan na visoko korozivne gasove poput HCl, Cl₂ i HF, kao i na rastopljeni silicijum i metalne pare, održavajući strukturni integritet i površinsku obradu u složenim atmosferama kao što su CVD, difuzija, oksidacija i nagrizanje, sa vijekom trajanja koji daleko premašuje vijek trajanja kvarcnih cijevi peći.
Odlična toplotna provodljivost:Njegova toplotna provodljivost je desetine puta veća od one kvarca, što omogućava bržu i ravnomjerniju raspodjelu temperature peći i poboljšava ujednačenost i ponovljivost procesa. Ovo je posebno važno za obradu višestrukih pločica velikih površina (npr. fotonaponske difuzijske peći i MOCVD reaktori).
Dimenzionalna stabilnost:Njegov izuzetno nizak koeficijent termičkog širenja osigurava da cijev peći održava vrlo stabilnu geometriju čak i kada je izložena ponovljenim i drastičnim temperaturnim fluktuacijama, sprječavajući oštećenje zaptivača ili koncentraciju napona uzrokovanu termičkim širenjem i skupljanjem.
Trajnost:Visoka tvrdoća i čvrstoća daju cijevi peći odlična mehanička svojstva, čineći je otpornom na deformacije i oštećenja.