Трубка для печі з карбіду кремнію Трубка реактора з карбіду кремнію

Трубка для печі з карбіду кремнію Трубка реактора з карбіду кремнію
Високочистий карбід кремніюSiC реакторна трубка– це критично важливий високотемпературний компонент, виготовлений з надчистого карбіду кремнію (SiC), спеціально розроблений для вимогливих технологічних середовищ, таких як напівпровідники та фотоелектричні елементи. Використовуючи притаманні карбіду кремнію переваги (стійкість до високих температур, корозійна стійкість та висока теплопровідність), вони стали основним витратним матеріалом у передовому виробництві, замінивши традиційні кварцові або металеві трубки.
VET Energy спеціалізується на розробці та виробництві карбідокремнієвих (SiC) трубок для високотемпературних та агресивних напівпровідникових застосувань. Маючи передові виробничі потужності.
та запатентованих технологій CVD та спікання, ми постачаємо труби, які характеризуються чудовою термічною стабільністю, стійкістю до окислення та тривалим терміном служби.

Переваги SiC-трубок VET Energy:

Надвисока чистота:Виготовлений за допомогою спеціального процесу спікання, вміст шкідливих металевих домішок (таких як Na, K, Fe та Al) знижується до рівня ppb.
Надзвичайно низьке виділення газів:У середовищах високої температури та високого вакууму виділення газів набагато нижче, ніж у кварцу, що ефективно запобігає забрудненню технологічної камери, забезпечує власну якість осаджених тонких плівок або росту кристалів і значно покращує вихід продукту (особливо важливо для епітаксії SiC, росту GaN та виробництва високоякісних монокристалічних кремніїв).
Стабільність до високих температур:Можливі тривалі робочі температури, що перевищують 1600°C (значно вище точки розм'якшення кварцу, приблизно 1200°C), а короткочасні температури можуть витримувати ще вищі температури (наприклад, 1800°C), що відповідає вимогам надвисоких температур для напівпровідників третього покоління та процесів вирощування кристалів.
Стійкість до хімічної корозії:Висока стійкість до високоагресивних газів, таких як HCl, Cl₂ та HF, а також розплавленого кремнію та металевих парів, що дозволяє зберігати структурну цілісність та якість поверхні в складних атмосферах, таких як CVD, дифузія, окислення та травлення, з терміном служби, що значно перевищує термін служби кварцових трубок.
Відмінна теплопровідність:Його теплопровідність у десятки разів більша, ніж у кварцу, що забезпечує швидший та рівномірніший розподіл температури в печі та покращує однорідність і повторюваність процесу. Це особливо важливо для обробки великої площі з кількома пластинами (наприклад, фотоелектричні дифузійні печі та реактори MOCVD).
Стабільність розмірів:Надзвичайно низький коефіцієнт теплового розширення забезпечує стабільну геометрію труби печі навіть за умови повторних і різких коливань температури, запобігаючи руйнуванню ущільнення або концентрації напружень, спричинених тепловим розширенням і стисненням.
Довговічність:Висока твердість і міцність надають пічній трубі чудові механічні властивості, роблячи її стійкою до деформації та пошкоджень.