Epitaxní plechová miska z karbidu křemíku pro polovodičovou epitaxní pec

Stručný popis:

Epitaxní plechová miska z karbidu křemíku VET Energy je vysoce výkonný produkt navržený pro zajištění konzistentního a spolehlivého výkonu po delší dobu. Má vynikající tepelnou odolnost a tepelnou rovnoměrnost, vysokou čistotu a odolnost proti erozi, což z něj činí ideální řešení pro aplikace zpracování destiček.

Pošlete nám e-mail Stáhnout jako PDF

Detaily produktu

Štítky produktů

Plechová miska z karbidu křemíku je klíčovou součástí používanou v různých procesech výroby polovodičů. Pomocí naší patentované technologie vyrábíme plechovou misku z karbidu křemíku s extrémně vysokou čistotou, dobrou rovnoměrností povlaku a vynikající životností, stejně jako s vysokou chemickou odolností a tepelnou stabilitou.

Společnost VET Energy je skutečným výrobcem zakázkových grafitových a karbidových produktů s různými povlaky, jako je SiC, Tac, pyrolytický uhlík, skelný uhlík atd., a může dodávat různé zakázkové díly pro polovodičový a fotovoltaický průmysl. Náš technický tým pochází z předních domácích výzkumných institucí a může vám poskytnout profesionálnější materiálová řešení.

Neustále vyvíjíme pokročilé procesy, abychom mohli poskytovat ještě pokročilejší materiály, a vyvinuli jsme exkluzivní patentovanou technologii, která umožňuje pevnější spojení mezi povlakem a podkladem a snižuje jeho náchylnost k odlupování.

Vlastnosti našich produktů:

1. Odolnost proti oxidaci za vysokých teplot až do 1700 ℃.
2. Vysoká čistota a tepelná uniformita
3. Vynikající odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
4. Vysoká tvrdost, kompaktní povrch, jemné částice.
5. Delší životnost a větší odolnost

Kardiovaskulární onemocnění (CVD) SiC薄膜基本物理性能 Základní fyzikální vlastnosti CVD SiCpovlak
性质 / Nemovitost	典型数值 / Typická hodnota
晶体结构 / Krystalová struktura	Fáze β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Hustota	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdost	2500 维氏硬度（500g náplň）
晶粒大小 / VELIKOST ZRNA	2~10μm
纯度 / Chemická čistota	99,99995 %
热容 / Tepelná kapacita	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Teplota sublimace	2700 ℃
抗弯强度 / Pevnost v ohybu	415 MPa RT 4bodový
杨氏模量 Youngův modul pružnosti	430 Gpa, ohyb 4pt, 1300℃
导热系数 / TermalVodivost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Tepelná roztažnost (CTE)	4,5×10^-6K^-1