Epitaxiale plaatbak van siliciumcarbide voor epitaxiale halfgeleiderovens

Korte beschrijving:

VET Energy siliciumcarbide epitaxiale plaattray is een hoogwaardig product, ontworpen om consistente en betrouwbare prestaties te leveren gedurende een lange periode. Het heeft een zeer goede hittebestendigheid en thermische uniformiteit, hoge zuiverheid en erosiebestendigheid, waardoor het de perfecte oplossing is voor waferverwerkingstoepassingen.

Stuur ons een e-mail Downloaden als PDF

Productdetails

Productlabels

Siliciumcarbide platen zijn een belangrijk onderdeel in diverse halfgeleiderproductieprocessen. We gebruiken onze gepatenteerde technologie om siliciumcarbide platen te produceren met een extreem hoge zuiverheid, een goede coatinguniformiteit en een uitstekende levensduur, evenals hoge chemische bestendigheid en thermische stabiliteit.

VET Energy is dé fabrikant van op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideproducten met verschillende coatings zoals SiC, Tac, pyrolytische koolstof, glasachtige koolstof, enz. en kan diverse op maat gemaakte onderdelen leveren voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie. Ons technische team is afkomstig van vooraanstaande binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan u voorzien van professionelere materiaaloplossingen.

Wij ontwikkelen voortdurend geavanceerde processen om steeds geavanceerdere materialen te kunnen leveren. Ook hebben we een exclusieve, gepatenteerde technologie ontwikkeld waarmee de hechting tussen de coating en de ondergrond sterker wordt en er minder snel onthechting optreedt.

Kenmerken van onze producten:

1. Hoge oxidatiebestendigheid tot 1700℃.
2. Hoge zuiverheid en thermische uniformiteit
3. Uitstekende corrosiebestendigheid: zuur, alkali, zout en organische reagentia.
4. Hoge hardheid, compact oppervlak, fijne deeltjes.
5. Langere levensduur en duurzamer

CVD SiC薄膜基本物理性能 Basisfysische eigenschappen van CVD SiCcoating
性质 / Eigendom	典型数值 / Typische waarde
Ik denk dat dit het geval is / Kristalstructuur	FCC β-fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Dikte	3,21 g/cm³
硬度 / Hardheid	2500 维氏硬度(500g belasting)
晶粒大小 / Korrelgrootte	2~10μm
纯度 / Chemische zuiverheid	99,99995%
热容 / Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimatietemperatuur	2700℃
Ik denk dat dit het geval is / Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
杨氏模量 / Young's modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
导热系数 / ThermaikGeleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10^-6K^-1