Atẹ Iwe Atẹ Silikoni Carbide Epitaxial Fun Semiconductor Epitaxial Furnace

Àpèjúwe Kúkúrú:

VET Energy Silicon Carbide Epitaxial Sheet Tray jẹ́ ọjà tí ó ní agbára gíga tí a ṣe láti pèsè iṣẹ́ tí ó dúró ṣinṣin àti èyí tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún àkókò gígùn. Ó ní agbára ìdènà ooru tí ó dára gidigidi àti ìṣọ̀kan ooru, mímọ́ ga, àti agbára ìfọ́, èyí tí ó mú kí ó jẹ́ ojútùú pípé fún àwọn ohun èlò ṣíṣe wafer.

 


Àlàyé Ọjà

Àwọn àmì ọjà

Awọn olutọsọ SiC1
Awọn olutọsọ SiC2

Atẹ ìwé silikon carbide jẹ́ kókó pàtàkì tí a ń lò nínú onírúurú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor. A ń lo ìmọ̀ ẹ̀rọ tí a fọwọ́ sí láti ṣe àtẹ ìwé silikon carbide pẹ̀lú ìwẹ̀nùmọ́ gíga, ìṣọ̀kan ìbòrí tó dára àti ìgbésí ayé iṣẹ́ tó dára, àti àwọn ànímọ́ ìdènà kẹ́míkà gíga àti ìdúróṣinṣin ooru.

VET Energy ni olùpèsè gidi ti àwọn ọjà graphite àti silicon carbide tí a ṣe àdáni pẹ̀lú oríṣiríṣi ìbòrí bíi SiC, Tac, pyrolytic carbon, glassy carbon, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, ó lè pèsè oríṣiríṣi ẹ̀yà ara tí a ṣe àdáni fún ilé iṣẹ́ semiconductor àti photovoltaic. Àwọn ẹgbẹ́ ìmọ̀ ẹ̀rọ wa wá láti àwọn ilé ìwádìí tó ga jùlọ ní orílẹ̀-èdè wa, wọ́n sì lè pèsè àwọn ìdáhùn ohun èlò tó dára fún ọ.

A n ṣe agbekalẹ awọn ilana ilọsiwaju nigbagbogbo lati pese awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju diẹ sii, a si ti ṣe agbekalẹ imọ-ẹrọ iyasọtọ ti a fun ni aṣẹ, eyiti o le jẹ ki asopọ laarin ibora ati substrate naa le nipọn ati ki o dinku si fifọ.

Awọn ẹya ara ẹrọ ti awọn ọja wa:

1. Agbara ifoyina otutu giga titi di 1700℃.
2. Iwa mimọ giga ati iṣọkan ooru
3. O tayọ resistance ipata: acid, alkali, iyo ati awọn ohun elo adayeba.

4. Agbara giga, oju ti o kere, awọn patikulu ti o dara.
5. Iṣẹ́ tó gùn jù àti pé ó lè pẹ́ tó

CVD SiC薄膜基本物理性能

Awọn ohun-ini ti ara ipilẹ ti CVD SiCibora

性质 / Ohun-ini

典型数值 / Iye deede

晶体结构 / Ìṣètò Kírísítà

Ìpele FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / Ìwọ̀n

3.21 g/cm³

硬度 / Líle

2500 维氏硬度 (ẹrù 500g)

晶粒大小 / Iwọn ọkà

2 ~ 10μm

纯度 / Ìmọ́tótó Kẹ́míkà

99.99995%

热容 / Agbara Ooru

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Iwọn otutu sublimation

2700℃

抗弯强度 / Agbára Rírọ̀

415 MPa RT 4-point

杨氏模量 / Modulu Young

430 GPA 4pt tẹ, 1300℃

导热系数 / ThermalÌgbékalẹ̀ ìṣiṣẹ́

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Ìfàsẹ́yìn Ooru (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Ẹ kí yin káàbọ̀ pẹ̀lú ayọ̀ láti wá sí ilé iṣẹ́ wa, ẹ jẹ́ kí a tún jíròrò síwájú sí i

生产设备

 

公司客户

 

 


  • Ti tẹlẹ:
  • Itele:

  • Iwiregbe lori ayelujara WhatsApp!