Tavă epitaxială din carbură de siliciu pentru cuptor epitaxial semiconductor

Scurtă descriere:

Tava epitaxială pentru foi din carbură de siliciu VET Energy este un produs de înaltă performanță, conceput pentru a oferi performanțe constante și fiabile pe o perioadă extinsă de timp. Are o rezistență la căldură și o uniformitate termică foarte bune, puritate ridicată și rezistență la eroziune, ceea ce o face soluția perfectă pentru aplicațiile de procesare a napolitanelor.

Trimiteți-ne un e-mail Descărcați ca PDF

Detalii produs

Etichete de produs

Tava din foi de carbură de siliciu este o componentă cheie utilizată în diverse procese de fabricație a semiconductorilor. Folosim tehnologia noastră patentată pentru a produce tava din foi de carbură de siliciu cu o puritate extrem de ridicată, o uniformitate bună a acoperirii și o durată de viață excelentă, precum și proprietăți ridicate de rezistență chimică și stabilitate termică.

VET Energy este producătorul real de produse personalizate din grafit și carbură de siliciu cu diferite acoperiri precum SiC, Tac, carbon pirolitic, carbon vitros etc., putând furniza diverse piese personalizate pentru industria semiconductorilor și fotovoltaică. Echipa noastră tehnică provine din instituții de cercetare autohtone de top și vă poate oferi soluții profesionale de materiale.

Dezvoltăm continuu procese avansate pentru a oferi materiale tot mai avansate și am elaborat o tehnologie exclusivă brevetată, care poate face ca legătura dintre acoperire și substrat să fie mai strânsă și mai puțin predispusă la desprindere.

Caracteristici ale produselor noastre:

1. Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate de până la 1700 ℃.
2. Puritate ridicată și uniformitate termică
3. Rezistență excelentă la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.
4. Duritate ridicată, suprafață compactă, particule fine.
5. Durată de viață mai lungă și mai durabilă

boli cardiovasculare (BCV) SiC薄膜基本物理性能 Proprietățile fizice de bază ale SiC CVDacoperire
性质 / Proprietăți	典型数值 / Valoare tipică
晶体结构 / Structura cristalină	Faza β a FCC多晶，主要为（111）取向
密度 Densitate	3,21 g/cm³
硬度 Duritate	2500 维氏硬度（încărcare 500g）
晶粒大小 Dimensiunea granulelor	2~10 μm
纯度 Puritate chimică	99,99995%
热容 Capacitate termică	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimare	2700℃
抗弯强度 / Rezistență la încovoiere	415 MPa RT în 4 puncte
杨氏模量 Modulul lui Young	Îndoire 4pt 430 Gpa, 1300℃
导热系数 / ThermalConductivitate	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Dilatare termică (CTE)	4,5×10^-6K^-1