Yarı İletken Epitelyal Fırın için Silisyum Karbür Epitelyal Levha Tepsisi

Yarı İletken Epitelyal Fırın İçin Silisyum Karbür Epitelyal Levha Tepsisi (Öne Çıkan Görsel)

Kısa Açıklama:

VET Energy Silisyum Karbür Epitelyal Levha Tepsisi, uzun bir süre boyunca tutarlı ve güvenilir performans sağlamak üzere tasarlanmış yüksek performanslı bir üründür. Süper iyi ısı direnci ve termal homojenliği, yüksek saflığı ve aşınma direnci sayesinde, wafer işleme uygulamaları için mükemmel bir çözümdür.

Bize e-posta gönderin PDF olarak indir

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

Silisyum karbür levha tepsisi, çeşitli yarı iletken üretim süreçlerinde kullanılan önemli bir bileşendir. Patentli teknolojimizi kullanarak, son derece yüksek saflıkta, iyi kaplama homojenliğine ve mükemmel kullanım ömrüne sahip, ayrıca yüksek kimyasal direnç ve termal kararlılık özelliklerine sahip silisyum karbür levha tepsisi üretiyoruz.

VET Energy, SiC, Tac, pirolitik karbon, camsı karbon vb. farklı kaplamalara sahip özelleştirilmiş grafit ve silisyum karbür ürünlerinin gerçek üreticisidir ve yarı iletken ve fotovoltaik endüstrisi için çeşitli özelleştirilmiş parçalar tedarik edebilir. Teknik ekibimiz, yurt içi önde gelen araştırma kurumlarından gelmektedir ve size daha profesyonel malzeme çözümleri sunabilir.

Sürekli olarak daha gelişmiş malzemeler sağlamak için ileri süreçler geliştiriyoruz ve kaplama ile alt tabaka arasındaki bağı daha sıkı ve ayrılmaya daha az eğilimli hale getirebilen özel, patentli bir teknoloji geliştirdik.

Ürünlerimizin özellikleri:

1. 1700℃'ye kadar yüksek sıcaklık oksidasyon direnci.
2. Yüksek saflık ve termal homojenlik
3. Mükemmel korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktiflere karşı dayanıklıdır.
4. Yüksek sertlik, kompakt yüzey, ince parçacıklar.
5. Daha uzun kullanım ömrü ve daha dayanıklı

CVD SiCAmerika Birleşik Devletleri CVD SiC'nin temel fiziksel özelliklerikaplama
性质 / Mülk	典型数值 / Tipik Değer
晶体结构 / Kristal Yapısı	FCC β fazı多晶,主要为（111)
密度 / Yoğunluk	3,21 g/cm³
硬度 / Sertlik	2500 kg yük (500g yük)
晶粒大小 / Tane Boyutu	2~10 μm
纯度 / Kimyasal Saflık	99.99995%
热容 / Isı Kapasitesi	640 J·kg^-1K^-1
Amerika Birleşik Devletleri / Süblimasyon Sıcaklığı	2700℃
抗弯强度 / Eğilme Mukavemeti	415 MPa RT 4 noktalı
杨氏模量 / Young Modülü	430 Gpa 4 noktalı büküm, 1300℃
导热系数 / Thermalİletkenlik	300W·m^-1K^-1
Amerika Birleşik Devletleri / Termal Genleşme (CTE)	4,5×10^-6K^-1