Yarıiletken Epitaksiyel Fırın İçin Silisyum Karbür Epitaksiyel Levha Tepsisi

Kısa Açıklama:

VET Energy Silisyum Karbür Epitaksiyel Levha Tepsisi, uzun bir süre boyunca tutarlı ve güvenilir performans sağlamak üzere tasarlanmış yüksek performanslı bir üründür. Süper iyi ısı direncine ve termal homojenliğe, yüksek saflığa, aşınma direncine sahiptir ve bu da onu gofret işleme uygulamaları için mükemmel bir çözüm haline getirir.

Bize e-posta gönderin PDF olarak indir

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

Silisyum karbür levha tepsisi, çeşitli yarı iletken üretim süreçlerinde kullanılan önemli bir bileşendir. Son derece yüksek saflıkta, iyi kaplama düzgünlüğüne ve mükemmel bir hizmet ömrüne sahip silisyum karbür levha tepsisini üretmek için patentli teknolojimizi kullanıyoruz, ayrıca yüksek kimyasal direnç ve termal kararlılık özellikleri de sunuyoruz.

VET Energy, SiC, Tac, pirolitik karbon, camsı karbon vb. gibi farklı kaplamalara sahip özelleştirilmiş grafit ve silikon karbür ürünlerinin gerçek üreticisidir ve yarı iletken ve fotovoltaik endüstrisi için çeşitli özelleştirilmiş parçalar tedarik edebilir. Teknik ekibimiz, en iyi yerel araştırma kurumlarından gelir ve sizin için daha profesyonel malzeme çözümleri sağlayabilir.

Daha gelişmiş malzemeler sunmak için sürekli olarak gelişmiş prosesler geliştiriyoruz ve kaplama ile alt tabaka arasındaki bağı daha sıkı hale getirebilen ve ayrılmaya daha az eğilimli hale getirebilen özel, patentli bir teknoloji geliştirdik.

Ürünlerimizin özellikleri:

1. 1700℃'ye kadar yüksek sıcaklık oksidasyon direnci.
2. Yüksek saflık ve termal homojenlik
3. Mükemmel korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
4. Yüksek sertlik, kompakt yüzey, ince parçacıklar.
5. Daha uzun hizmet ömrü ve daha dayanıklı

CVD SiCAmerika Birleşik Devletleri CVD SiC'nin temel fiziksel özelliklerikaplama
性质 / Mülk	典型数值 / Tipik Değer
晶体结构 / Kristal Yapı	FCC β fazı多晶,主要为（111)
密度 / Yoğunluk	3,21 gr/cm³
硬度 / Sertlik	2500 kg yük (500g yük)
晶粒大小 / Tane Boyutu	2~10μm
纯度 / Kimyasal Saflık	%99,99995
热容 / Isı Kapasitesi	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Süblimleşme Sıcaklığı	2700℃
抗弯强度 / Eğilme Dayanımı	415 MPa RT 4 nokta
杨氏模量 / Young Modülü	430 Gpa 4pt dirsek, 1300℃
导热系数 / Termalbenİletkenlik	300W·m^-1·K^-1
Amerika Birleşik Devletleri / Termal Genleşme (CTE)	4,5×10^-6K^-1