ถาดใส่แผ่นซิลิคอนคาร์ไบด์แบบเอพิแท็กเซียล สำหรับเตาเผาเอพิแท็กเซียลสำหรับเซมิคอนดักเตอร์

คำอธิบายโดยย่อ:

ถาดแผ่นซิลิคอนคาร์ไบด์แบบเอพิแท็กเซียลของ VET Energy เป็นผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อมอบประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ในระยะยาว มีคุณสมบัติทนความร้อนและกระจายความร้อนได้ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการกัดกร่อน ทำให้เป็นโซลูชันที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในกระบวนการผลิตเวเฟอร์

 


รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

ตัวเหนี่ยวนำ SiC1
ตัวเหนี่ยวนำ SiC2

ถาดแผ่นซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เราใช้เทคโนโลยีที่จดสิทธิบัตรของเราในการผลิตถาดแผ่นซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงมาก มีความสม่ำเสมอในการเคลือบที่ดีเยี่ยม อายุการใช้งานยาวนาน รวมถึงมีคุณสมบัติทนต่อสารเคมีและเสถียรภาพทางความร้อนสูง

VET Energy คือผู้ผลิตตัวจริงของผลิตภัณฑ์กราไฟต์และซิลิคอนคาร์ไบด์แบบกำหนดเองที่มีการเคลือบผิวหลากหลายชนิด เช่น SiC, Tac, คาร์บอนไพโรไลติก, คาร์บอนแก้ว ฯลฯ สามารถจัดหาชิ้นส่วนแบบกำหนดเองต่างๆ สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และพลังงานแสงอาทิตย์ ทีมงานด้านเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำของประเทศ สามารถให้คำแนะนำและโซลูชันด้านวัสดุที่เชี่ยวชาญยิ่งขึ้นสำหรับคุณ

เราพัฒนาปรับปรุงกระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อจัดหาวัสดุที่ล้ำหน้ายิ่งขึ้น และได้คิดค้นเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรเฉพาะ ซึ่งสามารถทำให้การยึดเกาะระหว่างสารเคลือบและพื้นผิวแน่นหนาขึ้นและหลุดลอกยากขึ้น

คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์ของเรา:

1. ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูงถึง 1700℃
2. ความบริสุทธิ์สูงและการกระจายความร้อนสม่ำเสมอ
3. ทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม: กรด ด่าง เกลือ และสารเคมีอินทรีย์

4. มีความแข็งสูง ผิวเรียบเนียน อนุภาคละเอียด
5. อายุการใช้งานยาวนานขึ้นและทนทานมากขึ้น

โรคหลอดเลือดหัวใจ SiC薄膜基本物理性能

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ

性质 / คุณสมบัติ

典型数值 / มูลค่าทั่วไป

晶体结构 / โครงสร้างผลึก

เฟส FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / ความหนาแน่น

3.21 กรัม/ซม³

硬度 / ความแข็ง

2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม)

晶粒大小 / ขนาดเมล็ด

2~10 ไมโครเมตร

纯度 / ความบริสุทธิ์ทางเคมี

99.99995%

热容 / ความจุความร้อน

640 จูล·กก.-1·K-1

升华温度 อุณหภูมิการระเหิด

2700℃

抗弯强度 / ความแข็งแรงดัดงอ

415 MPa RT 4 จุด

杨氏模量 โมดูลัสของยัง

430 GPa ดัด 4 จุด 1300℃

导热系数 / เทอร์มาการนำไฟฟ้า

300 วัตต์·เมตร-1·K-1

热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

ยินดีต้อนรับท่านเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันเพิ่มเติมได้เลย

生产设备

 

公司客户

 

 


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • แชทออนไลน์ผ่าน WhatsApp!