Pladenj iz epitaksialne pločevine iz silicijevega karbida za polprevodniško epitaksialno peč

Kratek opis:

Pladenj za epitaksialno ploščo iz silicijevega karbida VET Energy je visokozmogljiv izdelek, zasnovan za zagotavljanje doslednega in zanesljivega delovanja v daljšem časovnem obdobju. Ima izjemno dobro toplotno odpornost in toplotno enakomernost, visoko čistost in odpornost proti eroziji, zaradi česar je idealna rešitev za obdelavo rezin.

Pošljite nam e-pošto Prenesi kot PDF

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Pladenj iz silicijevega karbida je ključna komponenta, ki se uporablja v različnih procesih proizvodnje polprevodnikov. Z našo patentirano tehnologijo izdelujemo pladenj iz silicijevega karbida z izjemno visoko čistostjo, dobro enakomernostjo prevleke in odlično življenjsko dobo, pa tudi z visoko kemično odpornostjo in toplotno stabilnostjo.

VET Energy je pravi proizvajalec izdelkov iz grafita in silicijevega karbida po meri z različnimi prevlekami, kot so SiC, Tac, pirolitični ogljik, stekleni ogljik itd., ki lahko dobavlja različne dele po meri za polprevodniško in fotovoltaično industrijo. Naša tehnična ekipa prihaja iz vrhunskih domačih raziskovalnih ustanov in vam lahko zagotovi bolj profesionalne rešitve za materiale.

Nenehno razvijamo napredne postopke za zagotavljanje naprednejših materialov in smo razvili ekskluzivno patentirano tehnologijo, ki omogoča tesnejšo vez med premazom in podlago ter manjšo nagnjenost k odstopanju.

Značilnosti naših izdelkov:

1. Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah do 1700 ℃.
2. Visoka čistost in toplotna enakomernost
3. Odlična odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, soli in organski reagenti.
4. Visoka trdota, kompaktna površina, drobni delci.
5. Daljša življenjska doba in bolj trpežna

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiCpremaz
性质 / Nepremičnina	典型数值 / Tipična vrednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza多晶，主要为（111) 取向
密度 / Gostota	3,21 g/cm³
硬度 / Trdota	2500 维氏硬度（500g obremenitev）
晶粒大小 / VELIKOST ZRNA	2~10 μm
纯度 / Kemijska čistost	99,99995 %
热容 / Toplotna kapaciteta	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700 ℃
抗弯强度 / Upogibna trdnost	415 MPa RT 4-točkovni
杨氏模量 / Youngov modul	430 Gpa, 4pt upogib, 1300℃
导热系数 / TermalPrevodnost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Toplotni raztezek (CTE)	4,5×10^-6K^-1