Safata de làmines epitaxials de carbur de silici per a forn epitaxial de semiconductors

Descripció breu:

La safata de làmines epitaxials de carbur de silici de VET Energy és un producte d'alt rendiment dissenyat per proporcionar un rendiment consistent i fiable durant un període prolongat. Té una resistència a la calor i uniformitat tèrmica súper bones, alta puresa i resistència a l'erosió, cosa que la converteix en la solució perfecta per a aplicacions de processament de làmines.

Envia'ns un correu electrònic Descarrega com a PDF

Detall del producte

Etiquetes de producte

La safata de làmines de carbur de silici és un component clau utilitzat en diversos processos de fabricació de semiconductors. Utilitzem la nostra tecnologia patentada per fabricar la safata de làmines de carbur de silici amb una puresa extremadament alta, una bona uniformitat del recobriment i una excel·lent vida útil, així com propietats d'alta resistència química i estabilitat tèrmica.

VET Energy és el fabricant real de productes personalitzats de grafit i carbur de silici amb diferents recobriments com SiC, Tac, carboni pirolític, carboni vitri, etc., i pot subministrar diverses peces personalitzades per a la indústria dels semiconductors i la fotovoltaica. El nostre equip tècnic prové de les principals institucions de recerca nacionals i pot proporcionar-vos solucions de materials més professionals.

Desenvolupem contínuament processos avançats per oferir materials més avançats i hem elaborat una tecnologia patentada exclusiva que pot fer que la unió entre el recobriment i el substrat sigui més ferma i menys propensa al despreniment.

Característiques dels nostres productes:

1. Resistència a l'oxidació a altes temperatures fins a 1700 ℃.
2. Alta puresa i uniformitat tèrmica
3. Excel·lent resistència a la corrosió: àcids, àlcalis, sals i reactius orgànics.
4. Alta duresa, superfície compacta, partícules fines.
5. Vida útil més llarga i més durador

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propietats físiques bàsiques del SiC CVDrecobriment
性质 / Propietat	典型数值 / Valor típic
晶体结构 / Estructura cristal·lina	Fase β de la FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densitat	3,21 g/cm³
硬度 / Duresa	2500 维氏硬度（càrrega de 500g）
晶粒大小 / Mida del gra	2~10 μm
纯度 / Puresa química	99,99995%
热容 / Capacitat calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimació	2700 ℃
抗弯强度 / Resistència a la flexió	415 MPa RT 4 punts
杨氏模量 / Mòdul de Young	Corba de 430 Gpa 4pt, 1300 ℃
导热系数 / TermalConductivitat	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansió tèrmica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1