Pladanj od silicijevog karbida za epitaksijalnu peć za poluvodičke epitaksijalne peći

Pladanj od silicijevog karbida za epitaksijalnu peć za poluvodičke epitaksijalne ploče, istaknuta slika

Kratki opis:

VET Energy epitaksijalni pladanj od silicijevog karbida je visokoučinkovit proizvod dizajniran za pružanje dosljednih i pouzdanih performansi tijekom duljeg razdoblja. Ima izvrsnu otpornost na toplinu i toplinsku ujednačenost, visoku čistoću i otpornost na eroziju, što ga čini savršenim rješenjem za primjenu u obradi pločica.

Pošaljite nam e-poštu Preuzmi kao PDF

Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

Pladanj od silicijevog karbida ključna je komponenta koja se koristi u raznim procesima proizvodnje poluvodiča. Koristimo našu patentiranu tehnologiju za izradu pladnja od silicijevog karbida s izuzetno visokom čistoćom, dobrom ujednačenošću premaza i izvrsnim vijekom trajanja, kao i visokom kemijskom otpornošću i toplinskom stabilnošću.

VET Energy je pravi proizvođač prilagođenih grafitnih i silicijev-karbidnih proizvoda s različitim premazima poput SiC, Tac, pirolitičkog ugljika, staklastog ugljika itd., koji može isporučiti razne prilagođene dijelove za poluvodičku i fotonaponsku industriju. Naš tehnički tim dolazi iz vodećih domaćih istraživačkih institucija i može vam pružiti profesionalnija rješenja za materijale.

Neprestano razvijamo napredne procese kako bismo osigurali naprednije materijale te smo razvili ekskluzivnu patentiranu tehnologiju koja može učiniti vezu između premaza i podloge čvršćom i manje sklonom odvajanju.

Karakteristike naših proizvoda:

1. Otpornost na oksidaciju na visokim temperaturama do 1700 ℃.
2. Visoka čistoća i toplinska ujednačenost
3. Izvrsna otpornost na koroziju: kiseline, lužine, soli i organski reagensi.
4. Visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
5. Dulji vijek trajanja i izdržljiviji

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovna fizikalna svojstva CVD SiC-apremazivanje
性质 / Nekretnina	典型数值 / Tipična vrijednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza多晶，主要为（111）取向
密度 / Gustoća	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdoća	2500 维氏硬度（500g opterećenja）
晶粒大小 / Veličina zrna	2~10μm
纯度 / Kemijska čistoća	99,99995%
热容 / Toplinski kapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700℃
抗弯强度 / Čvrstoća na savijanje	415 MPa RT 4-točkovni
杨氏模量 Youngov modul	430 Gpa savijanje od 4 pt, 1300℃
导热系数 / TermalProvodljivost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Toplinsko širenje (CTE)	4,5×10^-6K^-1