半導体エピタキシャル炉用シリコンカーバイドエピタキシャルシートトレイ

シリコンカーバイドシートトレイは、様々な半導体製造プロセスで使用される重要な部品です。当社は特許取得済みの技術を用いて、極めて高い純度、優れたコーティング均一性、優れた耐用年数、そして高い耐薬品性と熱安定性を備えたシリコンカーバイドシートトレイを製造しています。

VET Energyは、SiC、TAC、熱分解炭素、ガラス状炭素など、様々なコーティングを施したグラファイトおよびシリコンカーバイド製品の専門メーカーです。半導体および太陽光発電業界向けに、様々なカスタマイズ部品を供給可能です。当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションをご提供いたします。

当社は、より高度な材料を提供するために高度なプロセスを継続的に開発しており、コーティングと基材の結合をより強固にし、剥離しにくくする独自の特許技術を開発しました。

当社の製品の特徴:

1. 1700℃までの高温酸化耐性。
2. 高純度と熱均一性
3. 優れた耐腐食性：酸、アルカリ、塩、有機試薬。
4. 硬度が高く、表面が緻密で、粒子が細かい。
5. 長寿命と耐久性の向上

弊社の工場へのご訪問を心より歓迎いたします。ぜひ、さらなる話し合いをさせてください。