Baki Lembaran Epitaksial Silikon Karbida untuk Tungku Epitaksial Semikonduktor

Deskripsi Singkat:

VET Energy Silicon Carbide Epitaxial Sheet Tray adalah produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu yang lama. Produk ini memiliki ketahanan panas dan keseragaman termal yang sangat baik, kemurnian tinggi, serta ketahanan terhadap erosi, menjadikannya solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.

Kirim email kepada kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Baki lembaran silikon karbida adalah komponen kunci yang digunakan dalam berbagai proses manufaktur semikonduktor. Kami menggunakan teknologi yang dipatenkan untuk membuat baki lembaran silikon karbida dengan kemurnian yang sangat tinggi, keseragaman lapisan yang baik, dan masa pakai yang sangat baik, serta ketahanan kimia dan stabilitas termal yang tinggi.

VET Energy adalah produsen sejati produk grafit dan silikon karbida yang disesuaikan dengan berbagai lapisan seperti SiC, Tac, karbon pirolitik, karbon kaca, dll., dan dapat memasok berbagai komponen yang disesuaikan untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik. Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian terkemuka di dalam negeri, dan dapat memberikan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Kami terus mengembangkan proses-proses canggih untuk menyediakan material yang lebih maju, dan telah mengembangkan teknologi eksklusif yang dipatenkan, yang dapat membuat ikatan antara lapisan dan substrat lebih erat dan kurang rentan terhadap pelepasan.

Fitur-fitur produk kami:

1. Ketahanan oksidasi suhu tinggi hingga 1700℃.
2. Kemurnian tinggi dan keseragaman termal
3. Ketahanan korosi yang sangat baik: asam, alkali, garam, dan reagen organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, partikel halus.
5. Masa pakai lebih lama dan lebih tahan lama

Penyakit kardiovaskular SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dasar SiC CVDlapisan
性质 / Properti	典型数值 / Nilai Khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶,主要为（111）取向
密度 / Kepadatan	3,21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（beban 500g）
晶粒大小 Ukuran Butir	2~10μm
纯度 Kemurnian Kimiawi	99,99995%
热容 / Kapasitas Panas	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Suhu Sublimasi	2700℃
抗弯强度 Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 Modulus Young	430 Gpa 4pt bend, 1300℃
导热系数 / ThermalDaya konduksi	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)	4,5×10^-6K^-1