Baki Lembaran Epitaksial Karbida Silikon untuk Tungku Epitaksial Semikonduktor

Deskripsi Singkat:

VET Energy Silicon Carbide Epitaxial Sheet Tray adalah produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu yang lama. Produk ini memiliki ketahanan panas dan keseragaman termal yang sangat baik, kemurnian tinggi, ketahanan erosi, menjadikannya solusi yang sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.

Kirim email ke kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Baki lembaran silikon karbida merupakan komponen utama yang digunakan dalam berbagai proses produksi semikonduktor. Kami menggunakan teknologi yang telah dipatenkan untuk membuat baki lembaran silikon karbida dengan kemurnian yang sangat tinggi, keseragaman lapisan yang baik, dan masa pakai yang sangat baik, serta ketahanan kimia dan sifat stabilitas termal yang tinggi.

VET Energy adalah produsen produk grafit dan silikon karbida yang disesuaikan dengan berbagai lapisan seperti SiC, Tac, karbon pirolitik, karbon kaca, dll., yang dapat memasok berbagai suku cadang yang disesuaikan untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik. Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, yang dapat menyediakan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Kami terus mengembangkan proses canggih untuk menyediakan material yang lebih canggih, dan telah menemukan teknologi eksklusif yang dipatenkan, yang dapat membuat ikatan antara lapisan dan substrat lebih kuat dan tidak mudah terkelupas.

Fitur produk kami:

1. Tahan terhadap oksidasi suhu tinggi hingga 1700℃.
2. Kemurnian tinggi dan keseragaman termal
3. Ketahanan korosi yang sangat baik: asam, alkali, garam dan reagen organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, partikel halus.
5. Masa pakai lebih lama dan lebih tahan lama

Penyakit kardiovaskular SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dasar CVD SiClapisan
性质 / Properti	典型数值 / Nilai Khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶,主要为（111）取向
密度 / Kepadatan	3,21 gram/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（beban 500g）
晶粒大小 / Ukuran Butiran	Ukuran 2~10 mikrometer
纯度 / Kemurnian Kimia	99,99995%
热容 / Kapasitas Panas	640 J kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700℃
抗弯强度 / Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4 titik
杨氏模量 / Modulus Young	430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃
导热系数 / TermaakuDaya konduksi	Daya 300Wm^-1·K^-1
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)	4,5×10^-6K^-1