Поддон для эпитаксиальных листов карбида кремния для эпитаксиальной печи полупроводников

Поддон из листа карбида кремния является ключевым компонентом, используемым в различных процессах производства полупроводников. Мы используем нашу запатентованную технологию для изготовления поддона из листа карбида кремния с чрезвычайно высокой чистотой, хорошей однородностью покрытия и превосходным сроком службы, а также высокой химической стойкостью и термической стабильностью.

VET Energy — настоящий производитель индивидуальных графитовых и карбидкремниевых изделий с различными покрытиями, такими как SiC, Tac, пиролитический углерод, стеклоуглерод и т. д., может поставлять различные индивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. Наша техническая команда состоит из ведущих отечественных научно-исследовательских институтов, может предоставить вам более профессиональные решения в области материалов.

Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для производства более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать связь между покрытием и подложкой более прочной и менее подверженной отслоению.

Особенности нашей продукции:

1. Стойкость к окислению при высоких температурах до 1700℃.
2. Высокая чистота и термическая однородность
3. Отличная коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
4. Высокая твердость, плотная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и большая прочность

Приглашаем Вас посетить наш завод и обсудить детали!