Посуда за епитаксијалне лимове од силицијум-карбида за полупроводничку епитаксијалну пећ

Кратак опис:

VET Energy силицијум карбид епитаксијални лим је високо ефикасни производ дизајниран да пружи конзистентне и поуздане перформансе током дужег периода. Има изузетно добру отпорност на топлоту и термичку уједначеност, високу чистоћу и отпорност на ерозију, што га чини савршеним решењем за примене обраде плочица.

Пошаљите нам имејл Преузми као PDF

Детаљи производа

Ознаке производа

Силицијум-карбидни лим је кључна компонента која се користи у различитим процесима производње полупроводника. Користимо нашу патентирану технологију да бисмо направили силицијум-карбидни лим изузетно високе чистоће, добре уједначености премаза и одличног века трајања, као и високе хемијске отпорности и термичке стабилности.

VET Energy је прави произвођач прилагођених графитних и силицијум карбидних производа са различитим премазима као што су SiC, Tac, пиролитички угљеник, стакласти угљеник итд., може да испоручи разне прилагођене делове за полупроводничку и фотонапонску индустрију. Наш технички тим долази из водећих домаћих истраживачких институција и може вам пружити професионалнија материјална решења.

Континуирано развијамо напредне процесе како бисмо обезбедили напредније материјале и развили смо ексклузивну патентирану технологију која може учинити везу између премаза и подлоге чвршћом и мање склоном одвајању.

Карактеристике наших производа:

1. Отпорност на оксидацију на високим температурама до 1700 ℃.
2. Висока чистоћа и термичка униформност
3. Одлична отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
4. Висока тврдоћа, компактна површина, фине честице.
5. Дужи век трајања и издржљивији

КВБ SiC薄膜基本物理性能 Основна физичка својства CVD SiC-апремаз
性质 / Некретнина	典型数值 / Типична вредност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶, 主要为（111）取向
密度 / Густина	3,21 г/цм³
硬度 / Тврдоћа	2500 维氏硬度 (500г оптерећење)
晶粒大小 / Величина зрна	2~10μm
纯度 / Хемијска чистоћа	99,99995%
热容 / Топлотни капацитет	640 Ј·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублимације	2700℃
抗弯强度 / Чврстоћа на савијање	415 MPa RT 4-тачкасти
杨氏模量 / Јангов модул еластичности	430 Gpa, 4pt, 1300℃
导热系数 / ТермалПроводљивост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термичко ширење (CTE)	4,5×10^-6K^-1