Szilícium-karbid epitaxiális lemeztálca félvezető epitaxiális kemencéhez

Rövid leírás:

A VET Energy szilícium-karbid epitaxiális lemeztálca egy nagy teljesítményű termék, amelyet úgy terveztek, hogy hosszú távon is konzisztens és megbízható teljesítményt nyújtson. Szuper jó hőállósággal és hőegyenletességgel, nagy tisztasággal és erózióállósággal rendelkezik, így tökéletes megoldást kínál wafer feldolgozási alkalmazásokhoz.

Küldjön nekünk e-mailt Letöltés PDF-ként

Termék részletei

Termékcímkék

A szilícium-karbid lemeztálca kulcsfontosságú alkatrész, amelyet különféle félvezetőgyártási folyamatokban használnak. Szabadalmaztatott technológiánkat alkalmazva a szilícium-karbid lemeztálcákat rendkívül nagy tisztaságú, jó bevonategyenletességgel és kiváló élettartammal, valamint magas vegyi ellenálló képességgel és hőstabilitással állítjuk elő.

A VET Energy a testreszabott grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója, különböző bevonatokkal, például SiC, Tac, pirolitikus szén, üvegkarbon stb., és különféle testreszabott alkatrészeket szállít a félvezető és fotovoltaikus ipar számára. Műszaki csapatunk a vezető hazai kutatóintézetekből áll, így professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani Önnek.

Folyamatosan fejlesztjük a fejlettebb eljárásokat, hogy fejlettebb anyagokat biztosítsunk, és kidolgoztunk egy exkluzív, szabadalmaztatott technológiát, amely szorosabbá és kevésbé hajlamosabbá teszi a bevonat és az aljzat közötti kötést.

Termékeink jellemzői:

1. Magas hőmérsékletű oxidációs ellenállás akár 1700 ℃-ig.
2. Nagy tisztaság és termikus egyenletesség
3. Kiváló korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
4. Nagy keménység, tömör felület, finom részecskék.
5. Hosszabb élettartam és tartósabb

szív- és érrendszeri betegségek SiC薄膜基本物理性能 A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat
性质 / Ingatlan	典型数值 / Tipikus érték
晶体结构 / Kristályszerkezet	FCC β fázis多晶，主要为（111）取向
密度 / Sűrűség	3,21 g/cm³
硬度 / Keménység	2500 维氏硬度 (500 g-os töltet)
晶粒大小 / Szemcseméret	2~10 μm
纯度 / Kémiai tisztaság	99,99995%
热容 / Hőkapacitás	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Szublimációs hőmérséklet	2700 ℃
抗弯强度 / Hajlítószilárdság	415 MPa RT 4-pontos
杨氏模量 / Young modulusa	430 Gpa 4pt hajlítás, 1300 ℃
导热系数 / ThermalVezetőképesség	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Hőtágulás (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1