Силициево-карбидна епитаксиална листова тава за полупроводникова епитаксиална пещ

Тава от силициев карбид за епитаксиални листове за полупроводникова епитаксиална пещ. Представено изображение.

Кратко описание:

Епитаксиалната листова тава от силициев карбид VET Energy е високопроизводителен продукт, проектиран да осигурява постоянна и надеждна работа за продължителен период от време. Тя има супер добра топлоустойчивост и термична равномерност, висока чистота и устойчивост на ерозия, което я прави идеалното решение за приложения за обработка на пластини.

Изпратете ни имейл Изтегляне като PDF

Детайли за продукта

Етикети на продукти

Тавата от силициев карбид е ключов компонент, използван в различни процеси за производство на полупроводници. Използваме нашата патентована технология, за да направим тавата от силициев карбид с изключително висока чистота, добра равномерност на покритието и отличен експлоатационен живот, както и с висока химическа устойчивост и термична стабилност.

VET Energy е истинският производител на персонализирани графитни и силициево-карбидни продукти с различни покрития като SiC, Tac, пиролитичен въглерод, стъкловиден въглерод и др., може да достави различни персонализирани части за полупроводниковата и фотоволтаичната индустрия. Нашият технически екип е съставен от водещи местни изследователски институции и може да ви предостави по-професионални решения за материали.

Ние непрекъснато разработваме усъвършенствани процеси, за да осигурим по-съвременни материали, и сме разработили ексклузивна патентована технология, която може да направи връзката между покритието и основата по-здрава и по-малко податлива на отлепване.

Характеристики на нашите продукти:

1. Устойчивост на окисление при висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота и термична еднородност
3. Отлична устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.
4. Висока твърдост, компактна повърхност, фини частици.
5. По-дълъг експлоатационен живот и по-издръжлив

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основни физични свойства на CVD SiCпокритие
性质 / Имот	典型数值 / Типична стойност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111) 取向
密度 / Плътност	3,21 г/см³
硬度 / Твърдост	2500 维氏硬度（500g товар）
晶粒大小 / Размер на зърното	2~10μm
纯度 / Химическа чистота	99,99995%
热容 / Топлинен капацитет	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура на сублимация	2700℃
抗弯强度 / Якост на огъване	415 MPa RT 4-точков
杨氏模量 / Модул на Юнг	430 Gpa 4pt огъване, 1300℃
导热系数 / ТермалПроводимост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термично разширение (CTE)	4,5×10^-6K^-1