Piikarbidiepitaksiaalinen arkkialusta puolijohde-epitaksiaaliuunille

Lyhyt kuvaus:

VET Energyn piikarbidista valmistettu epitaksiaalinen levyalusta on tehokas tuote, joka on suunniteltu tarjoamaan tasaista ja luotettavaa suorituskykyä pitkän aikaa. Sillä on erittäin hyvä lämmönkestävyys ja terminen tasaisuus, korkea puhtausaste ja eroosiokestävyys, mikä tekee siitä täydellisen ratkaisun kiekkojen käsittelysovelluksiin.

Lähetä meille sähköpostia Lataa PDF-tiedostona

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

Piikarbidilevyalusta on keskeinen komponentti, jota käytetään erilaisissa puolijohteiden valmistusprosesseissa. Käytämme patentoitua teknologiaamme valmistaaksemme piikarbidilevyalustan erittäin puhtaalla, hyvällä pinnoitteen tasaisuudella ja erinomaisella käyttöiällä sekä korkeilla kemikaalienkestävyyden ja lämmönkestävyyden ominaisuuksilla.

VET Energy on räätälöityjen grafiitti- ja piikarbidituotteiden valmistaja, joka tarjoaa erilaisia pinnoitteita, kuten SiC, Tac, pyrolyyttinen hiili, lasihiili jne. Voimme toimittaa erilaisia räätälöityjä osia puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudelle. Tekninen tiimimme koostuu kotimaisista huippututkimuslaitoksista, jotka voivat tarjota sinulle ammattimaisempia materiaaliratkaisuja.

Kehitämme jatkuvasti edistyneitä prosesseja tarjotaksemme edistyneempiä materiaaleja, ja olemme kehittäneet ainutlaatuisen patentoidun teknologian, joka voi tehdä pinnoitteen ja alustan välisestä sidoksesta tiiviimmän ja vähemmän alttiita irtoamiselle.

Tuotteidemme ominaisuudet:

1. Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys jopa 1700 ℃:iin asti.
2. Korkea puhtaus ja terminen tasaisuus
3. Erinomainen korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
4. Korkea kovuus, tiivis pinta, hienot hiukkaset.
5. Pidempi käyttöikä ja kestävämpi

Sydän- ja verisuonitauti SiC薄膜基本物理性能 CVD-piikarbidin perusfysikaaliset ominaisuudetpinnoite
性质 / Kiinteistö	典型数值 / Tyypillinen arvo
晶体结构 / Kristallirakenne	FCC β-vaihe多晶，主要为（111）取向
密度 / Tiheys	3,21 g/cm³
硬度 / Kovuus	2500 维氏硬度 (500 g kuorma)
晶粒大小 / Viljan koko	2–10 μm
纯度 / Kemiallinen puhtaus	99,99995 %
热容 / Lämmönkestävyys	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimaatiolämpötila	2700 ℃
抗弯强度 / Taivutuslujuus	415 MPa RT 4-piste
杨氏模量 Youngin moduuli	430 Gpa 4pt mutka, 1300 ℃
导热系数 / ThermalJohtavuus	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Lämpölaajeneminen (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1